[实用新型]一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置

说明书

本实用新型公开了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置，包括圆形箱体，所述圆形箱体内设有过滤结构；所述过滤结构包括：锥形筛网壳、圆形筛网壳体以及伺服电机；所述圆形箱体内侧壁面安置有第一环形框架，所述第一环形框架上开设有位置相对应的条形豁槽，每个所述条形豁槽内均安置有支柱，每个所述支柱上均套装有线圈，一对所述线圈上共同安置有第二环形框架，本实用新型涉及硅片清洗水的再次循环利技术领域。有效的解决了背景技术中所提及的硅片清洗工序中问题，通过本装置的过滤结构，便于将第三次清洗的水进行过滤，便于再次使用，便于水循环使用，节约水资源。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗水的再次循环利技术领域，具体为一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置。

背景技术

在硅片生产时，需要进行多次冲洗，在硅片清洗工序中，第一次清洗的水槽和第二次清洗的水槽用水量较大，洗后的水也较污，第三次清洗的水槽洗后的水比较干净，以前是直接排掉，造成浪费，鉴于此，针对上述问题进行研究，设计本装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置，解决了现有的在硅片清洗工序中，第一次清洗的水槽和第二次清洗的水槽用水量较大，洗后的水也较污，第三次清洗的水槽洗后的水比较干净，以前是直接排掉，造成浪费。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括圆形箱体，所述圆形箱体内设有过滤结构；

所述过滤结构包括：锥形筛网壳、圆形筛网壳体以及伺服电机；

所述圆形箱体内侧壁面安置有第一环形框架，所述第一环形框架上开设有位置相对应的条形豁槽，每个所述条形豁槽内均安置有支柱，每个所述支柱上均套装有线圈，一对所述线圈上共同安置有第二环形框架，所述锥形筛网壳安置于第二环形框架上，所述圆形筛网壳体安置于圆形箱体内侧壁面且位于锥形筛网壳下方，所述圆形筛网壳体上壁面开设有投放口，所述圆形筛网壳体内填充活性炭，所述圆形箱体上壁面开设有第一圆形通孔，所述圆形箱体上壁面铰链连接有与圆形通孔相匹配的挡盖，所述挡盖上壁面开设有第二圆形通孔，所述伺服电机驱动端插入圆形通孔内部，所述伺服电机驱动端安装有连接杆，所述连接杆上安装有叶片。

优选的，所述挡盖上壁面且位于第二圆形通孔边缘处开设有投料口，所述挡盖上壁面通过铰链连接有与投料口相匹配的挡门。

优选的，所述圆形箱体内下壁面微型泵，所述微型泵上套装有通过圆形箱体伸出的水管。

优选的，所述圆形箱体上壁面且位于第一环形框架上壁面开设有开设有进水口，所述进水口内插装有进水管，所述进水管上套装有第一控制阀。

优选的，所述圆形箱体侧壁面开设有观察口，所述观察口内插装有透明玻璃。

优选的，所述伺服电机驱动端上安置有固定架。

有益效果

本实用新型提供了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置。具备以下有益效果：有效的解决了背景技术中所提及的硅片清洗工序中问题，通过本装置的过滤结构，便于将第三次清洗的水进行过滤，便于再次使用，便于水循环使用，节约水资源。

附图说明

图1为本实用新型所述一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置的结构示意图。

图2为本实用新型所述一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置的俯视图。

图3为本实用新型所述一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置的锥形筛网壳俯视图。

图中：1-圆形箱体；2-锥形筛网壳；3-圆形筛网壳体；4-伺服电机；5-第一环形框架；6-支柱；7-线圈；8-第二环形框架；9-挡盖；10-连接杆；11-叶片；12-挡门；13-微型泵；14-进水管；15-第一控制阀；16-固定架。