[实用新型]一种带导向机构的磁性流体密封装置有效
| 申请号： | 201922216745.2 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN211778983U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 洪婧;雷林光;谢如应 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;郑汝珍 |
| 地址： | 310053 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 导向 机构 磁性 流体 密封 装置 | ||
1.一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于包括：
波纹管结构（1），用于形成真空区域（2）的伸缩部件；
磁性流体密封装置（3），用于实现从大气侧向真空侧传输单向或双向旋转运动的密封装置；所述的磁性流体密封装置（3）集成式设置有基座轴（4）；
直线导向机构（5），所述的直线导向机构（5）集成在磁性流体密封装置的基座轴（4）上；
所述的磁性流体密封装置（3）和直线导向机构（5）集成后一体设置在波纹管结构内部的真空区域（2）内。
2.根据权利要求1所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的基座轴（4）为马氏体不锈钢材料构件，表面硬度大于等于HRC50。
3.根据权利要求1所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的基座轴（4）朝向大气侧一端一体设置有密封法兰（6）。
4.根据权利要求3所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的波纹管结构（1）的一端与密封法兰（6）联接，波纹管结构（1）的另一端分别与直线导向机构（5）和设置在设备真空室（8）内部的一过渡法兰（7）联接。
5.根据权利要求1所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的直线导向机构（5）设置在基座轴（4）的真空侧一端的外径上并通过一固定法兰（9）与设备真空室（8）联接。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的磁性流体密封装置为单轴或同心多轴传动装置。
7.根据权利要求1至5任意一项所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的磁性流体密封装置（3）为单向或双向旋转运动装置。
8.根据权利要求1至5任意一项所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的磁性流体密封装置（3）包括集成式设置的同心轴（12）、磁性流体密封组件（13）和传动轴承（14）。
9.根据权利要求1至5任意一项所述的一种带导向机构的磁性流体密封装置，其特征在于：所述的直线导向机构（5）采用直线轴承。
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