[实用新型]带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统

说明书

本实用新型公开了一种带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统，其包括排线机构和伺服控制器，排线机构包括伺服电机、与伺服电机驱动端连接的丝杆以及与丝杆螺纹配合的螺母，螺母上设有可转动的第一纠偏轮和第二纠偏轮，第一纠偏轮的边缘设有第一齿状结构，第二纠偏轮的边缘设有第二齿状结构，所述第一齿状结构和第二齿状结构啮合传动，第一齿状结构和第二齿状结构与第一纠偏轮、第二纠偏轮的边缘形成通孔，金属丝穿过通孔卷绕在收线卷筒或放线卷筒上，第一纠偏轮和第二纠偏轮分别与伺服控制器电连接，且当第一纠偏轮和第二纠偏轮接触到金属丝时，生成电信号发送至伺服控制器，控制伺服电机转速，以使第一纠偏轮和第二纠偏轮不与金属丝接触。

技术领域

本实用新型属于机械电子技术领域，特别是涉及带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统。

背景技术

多线切割技术(MWS:Multi-Wire-Slicen)是进行脆硬材料(如硅锭等)切割的一种创新性工艺。在该工艺中，金属丝被缠绕在两个卷轴上，两个卷轴分别通过伺服电机驱动，带动金属丝高速往复运动，从而实现切割半导体加工区域，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片。

在金属丝切割工作过程中，金属丝要求通过排线均匀地缠绕在卷轴上，但目前的排线方法一般通过金属丝缠绕速度确定，而金属丝缠绕速度易产生偏差，导致金属丝排线精度不高，发生金属丝堆积和交织的情况。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题就是提供一种带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统，提高多线切割收放线排线精度，显著减少金属丝堆积和交织的情况发生。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统，用于多线切割机中金属丝卷绕在收线卷筒或放线卷筒上时控制排线位置，其包括排线机构和伺服控制器，所述排线机构包括伺服电机、与伺服电机驱动端连接的丝杆以及与丝杆螺纹配合的螺母，所述螺母上设有可转动的第一纠偏轮和第二纠偏轮，所述第一纠偏轮的边缘设有第一齿状结构，所述第二纠偏轮的边缘设有第二齿状结构，所述第一齿状结构和第二齿状结构啮合传动，所述第一齿状结构和第二齿状结构与第一纠偏轮、第二纠偏轮的边缘形成通孔，所述金属丝穿过通孔卷绕在卷筒上，所述第一纠偏轮和第二纠偏轮分别与伺服控制器电连接，且当第一纠偏轮和第二纠偏轮接触到金属丝时，生成电信号发送至伺服控制器，控制伺服电机转速，以使第一纠偏轮和第二纠偏轮不与金属丝接触。

进一步的，所述第一齿状结构和第二齿状结构均包括两片齿轮，两片齿轮分别固定在第一齿状结构和第二齿状结构的两侧面。

本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型在多线切割机排线时，设置了带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统，由于其设置了第一纠偏轮和第二纠偏轮，若金属线卷绕在收线卷筒或放线卷筒上排线时发生偏移，金属线会接触到第一纠偏轮和第二纠偏轮，此时第一纠偏轮和第二纠偏轮将生成电信号发送至伺服控制器，从而控制伺服电机转速，以使第一纠偏轮和第二纠偏轮不与金属丝接触，从而实现金属线排线自动纠偏，提高多线切割收放线排线精度，显著减少金属丝堆积和交织的情况发生；

2.由于第一纠偏轮和第二纠偏轮上设置了第一齿状结构和第二齿状结构，第一齿状结构和第二齿状结构与第一纠偏轮、第二纠偏轮的边缘形成通孔，金属丝穿过通孔后，金属丝便无法从通孔中滑出，使得多线切割机排线意外故障率显著降低，提高了运行稳定性。

本实用新型的具体技术效果将在具体实施方式中予以进一步说明。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步描述：

图1是多线切割机的结构示意图；

图2是带纠偏功能的多线切割收放线伺服控制系统的结构示意图；

图3是第一纠偏轮和第二纠偏轮的配合示意图。