[实用新型]一种用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置有效
申请号: | 201922228249.9 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN211367716U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 李建稳;何占宇;曾培源;王帝;沈健民 | 申请(专利权)人: | 南京源昌新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/44 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 黄明哲 |
地址: | 211500 江苏省南京市六*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生产 纳米 薄膜 cvd 反应 装置 | ||
本实用新型提供一种用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置,具体涉及碳纳米管薄膜生产装置技术领域,包括一支大反应管,所述大反应管的内腔中周向均匀设有若干反应室,每个所述反应室的形状大小相同。本实用新型,一方面通过增加CVD反应装置内参与生产碳纳米管薄膜的反应室的数量,来提高单位时间内碳纳米管的产出量,缩短碳纳米管薄膜的收集时间,进而有效的减少能源浪费。另一方面,通过增加碳纳米管管束的数量,有效的减小因单支碳纳米管管束的中断,对碳纳米管薄膜电阻均一性的影响。
技术领域
本实用新型属于碳纳米管薄膜生产装置技术领域,具体涉及一种用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置。
背景技术
碳纳米管薄膜拥有高比强度、高导电性、高产热率、低密度等特性,在航空航天、国防军事、电极材料、保暖服等领域有重要的应用前景。CVD法制备碳纳米管薄膜的操作简单、成本低,是工业化生产碳纳米管薄膜的首选。目前,CVD法制备碳纳米管薄膜只能用一支反应管进行生产,导致CVD反应装置的碳纳米管管束的产出率较低,不但延长了碳纳米管的收集时间,还会造成严重的能源浪费。另外,在用单支反应管进行生产时,若反应管内碳纳米管管束因反应体系参数的微小扰动而中断,则在一段时间内碳纳米管的收集效率为0,严重影响了碳纳米管薄膜性能的一致性。
因此,急需一种能够解决现有问题的用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置,在一个大反应管内设置若干反应室以解决CVD反应装置的碳纳米管管束的产出率低、碳纳米管薄膜电阻均一性差的问题。
本实用新型提供了如下的技术方案:
一种用于生产碳纳米管薄膜的联排CVD反应装置,包括一支大反应管,所述大反应管的内腔中周向均匀设有若干反应室,每个所述反应室的形状大小相同。一方面,通过增加CVD反应装置内参与生产碳纳米管薄膜的反应室的数量,来提高单位时间内碳纳米管的产出量,缩短碳纳米管薄膜的收集时间,进而有效的减少能源浪费。另一方面,通过增加碳纳米管管束的数量(一个反应室生产一个碳纳米管管束),有效的减小因单支碳纳米管管束的中断,对碳纳米管薄膜电阻均一性的影响。
优选的,所述反应室由小反应管构成,所述大反应管内设有支撑管,所述大反应管的轴线和所述支撑管的轴线重合,所有的所述小反应管环绕所述支撑管以紧密堆积方式安置于所述大反应管内。所述支撑管起到支撑作用。相对于固定不可拆卸的反应室而言,多个小反应管的生产成本低;反应管在高温下使用一段时间后会发生一定的变化,而不能继续参与生产,就必须用新反应管更换,采用多个小反应管作为多个反应室方便检修、更换、节约成本。
优选的,相邻的所述小反应管之间的缝隙以及所述小反应管和所述支撑管之间的缝隙内填充导热和缓冲材料。使得各个小反应管能够更加稳固的堆积在大反应管内。
优选的,所述导热和缓冲材料为碳化硅或氧化铝粉末。
优选的,所述支撑管为实心填充管。因为正中位置的温度条件与周边的反应管不同,所以在此处不宜设置小反应管。
优选的,所述小反应管和支撑管的外径一样大,便于安装。
优选的,所述反应室的个数为6-10个。
本实用新型的有益效果是:
1、通过增加CVD反应装置内参与生产碳纳米管薄膜的反应管的数量,来提高单位时间内碳纳米管的产出量,缩短碳纳米管薄膜的收集时间,进而有效的减少能源浪费。
2、通过增加碳纳米管管束的数量,有效的减小因单支碳纳米管管束的中断,对碳纳米管薄膜电阻均一性的影响。
附图说明
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的