[实用新型]一种晶圆加热器表面温度分布检测装置有效
| 申请号： | 201922228724.2 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN213022000U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 游利;贾坤良 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 表面温度 分布 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆加热器表面温度分布检测装置，其特征在于：包括底部晶圆（1）、上部晶圆（2）、微型热电偶（3）、可伐合金支架（4）、真空电极（5）与温度监测装置（6），所述的微型热电偶（3）设置在底部晶圆（1）与上部晶圆（2）之间，所述的底部晶圆（1）与上部晶圆（2）设置在可伐合金支架（4）上，所述的微型热电偶（3）的信号线通过可伐合金支架（4）固定，所述的微型热电偶（3）通过真空电极（5）与温度监测装置（6）相连；所述的底部晶圆（1）包括晶圆主体（1-1）、测温头固定孔（1-2）；所述的微型热电偶（3）包括微型热电偶测温头（3-1）、测温头固定件（3-2）和信号线（3-3）；所述的可伐合金支架（4）包括可伐环（4-1）、信号线固定槽（4-2）和提拉孔（4-3）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加热器表面温度分布检测装置，其特征在于：所述的微型热电偶测温头（3-1）通过测温头固定件（3-2）固定在底部晶圆（1）的测温头固定孔（1-2）内；所述的信号线（3-3）穿过信号线固定槽（4-2）与真空电极（5）配合。
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