[实用新型]降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器

权利要求书

1.降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，包括金属加热器主体（1）、金属固定环（5），其特征在于：所述金属加热器主体（1）设置有盘体（1-1）、盘体（1-1）底部设置有安装轴（1-9）、安装轴（1-9）内设置有测温热电偶（1-7）和若干个气体管路（1-8），金属加热器主体（1）的盘体(1-1)内嵌设有若干个方型铠装加热管（2）和石墨匀热片（3），顶面设置有陶瓷匀热盘（4）；所述盘体（1-1）和陶瓷匀热盘（4）外围设置有金属固定环（5）；所述盘体（1-1）上设置有表面匀气沟槽（1-2）、外圈密封面（1-3）、内圈密封面（1-4）、方型加热管安装沟槽（1-5）和石墨匀热片安装槽（1-6）；所述方型铠装加热管（2）设置有内区方型铠装加热管（2-1）和外区方型铠装加热管（2-2），所述方型铠装加热管外壳设置为方型，内部设置为圆形铠装加热管，加热管外壳和圆形铠装加热管之间设置有导热层（2-4）；所述的陶瓷匀热盘（4）顶面均布有若干数量的支撑晶圆的小凸台（4-1），底面设置有密封面（4-2）。

2.根据权利要求1所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述的石墨匀热片（3）设置有内区石墨匀热板（3-1）和外区石墨匀热板（3-3）。

3.根据权利要求1所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述的金属固定环（5）外周设置有喷砂层。

4.根据权利要求1所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述金属加热器主体（1）由盘体（1-1）、安装轴（1-9）、测温热电偶（1-7）和若干个气体管路（1-8）通过自熔焊接、电子束焊接方式焊接组合而成。

5.根据权利要求1或4所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述盘体（1-1）采用材料为：工作温度800-1150度的耐高温不锈钢或同等高温的合金。

6.根据权利要求1所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述导热层（2-4）采用材料为：导热良好的金属或者更耐高温的氧化镁粉。

7.根据权利要求1所述的降低晶圆离子污染的高均匀性晶圆加热器，其特征在于：所述的测温热电偶为带弹性伸缩的陶瓷盘测温热电偶。