[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置

权利要求书

1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板(1)和上固定板(2)，其特征在于：所述下固定板(1)和上固定板(2)之间固定安装有离子泵泵体(3)，所述离子泵泵体(3)左端和右端军固定安装有一组温度保护机构(4)，所述上固定板(2)上端中部固定安装有进气口(6)，且进气口(6)下端与离子泵泵体(3)内部相通，所述进气口(6)上端固定连接有真空法兰(8)，所述进气口(6)外表面左部上侧固定安装有阳极引线(7)。

2.根据权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述温度保护机构(4)包括保护外壳(41)，所述保护外壳(41)内腔靠近离子泵泵体(3)的一端侧壁中部和四侧分别固定安装有温度感应器(42)和循环降温装置(43)，所述保护外壳(41)内腔底壁中部固定安装有控制器(44)，所述控制器(44)与温度感应器(42)电性连接，所述控制器(44)上端中部固定安装有切断开关(45)，所述切断开关(45)与离子泵泵体(3)电性连接，所述温度保护机构(4)通过保护外壳(41)与离子泵泵体(3)固定连接在一起。

3.根据权利要求2所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述循环降温装置(43)包括储水仓(434)，所述储水仓(434)左右两侧分别固定安装有循环泵机(431)和冷凝器(433)，所述循环泵机(431)和冷凝器(433)下端共同固定连接有循环水管(432)，且述循环泵机(431)和冷凝器(433)均与控制器(44)电性连接，所述循环降温装置(43)通过储水仓(434)固定安装在保护外壳(41)的内腔侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述离子泵泵体(3)包括离子泵外壳(31)，所述离子泵外壳(31)内腔底壁中部固定安装有阳极组件(34)，所述离子泵外壳(31)内腔左壁和右壁均固定连接有一组阴极板(35)，所述离子泵外壳(31)外部左端和右端军固定连接有一组永磁体(33)，所述永磁体(33)远离离子泵外壳(31)的一端均固定连接有一组软铁(32)，所述离子泵泵体(3)通过离子泵外壳(31)分别与下固定板(1)和上固定板(2)固定连接在一起。

5.根据权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述阳极引线(7)右端与进气口(6)内腔相通，且阳极引线(7)下端穿插过上固定板(2)与离子泵泵体(3)内部相连通。

6.根据权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述下固定板(1)前端中部固定连接有固定竖板(5)，所述固定竖板(5)通过螺栓将上固定板(2)与下固定板(1)固定连接在一起。