[实用新型]测量元件及包括该测量元件的测量装置

权利要求书

1.一种测量元件(10)，包括：

基体(12)；以及

隔片(14)，所述隔片(14)固定地连接至所述基体(12)，并且在所述基体(12)与所述隔片(14)之间限定有密封腔(13)；

其特征在于，所述隔片在其背向所述密封腔(13)的外侧表面上设置有抗腐蚀层(144，144A)，并且所述隔片在其面向所述密封腔(13)的内侧表面设置有防氢渗透层(142，142A)。

2.根据权利要求1所述的测量元件，其特征在于，

所述基体(12)具有围绕所述隔片(14)的外周形成的凸缘(16)，所述凸缘在其内侧限定所述测量元件与待测量介质接触的区域。

3.根据权利要求2所述的测量元件，其特征在于，

所述隔片(14)通过电阻缝焊固定地连接至所述基体(12)。

4.根据权利要求3所述的测量元件，其特征在于，

所述抗腐蚀层为涂覆在所述凸缘(16)的外侧表面、所述隔片(14)的外侧表面以及所述凸缘与所述隔片之间的接缝区域的外侧表面上的全氟烷氧基烷烃(PFA)涂层。

5.根据权利要求3或4所述的测量元件，其特征在于，

所述防氢渗透层为镀在所述隔片(14)的内侧表面上的镀金层，所述镀金层连续延伸超过所述隔片与所述基体的连接区域。

6.根据权利要求5所述的测量元件，其特征在于，

所述镀金层的厚度小于等于10微米。

7.根据权利要求2所述的测量元件，其特征在于，

所述凸缘(16)上设置有转接件(18)，所述转接件在位于其径向内侧的第一位置(P1)固定地连接至所述隔片(14)，并且所述转接件在位于其径向外侧的第二位置(P2)固定地连接至所述基体的凸缘(16)。

8.根据权利要求7所述的测量元件，其特征在于，

所述抗腐蚀层为涂覆在所述转接件(18)的外侧表面以及所述隔片(14)的外侧表面上的全氟烷氧基烷烃(PFA)涂层。

9.根据权利要求7或8所述的测量元件，其特征在于，

所述防氢渗透层为涂覆在所述隔片(14)的内侧表面上的类金刚石(DLC)涂层、镀金涂层或氧化物涂层，所述防氢渗透层连续延伸超过所述隔片与所述转接件的连接区域。

10.根据权利要求9所述的测量元件，其特征在于，

所述类金刚石(DLC)涂层的涂覆厚度小于等于2微米，所述镀金涂层的涂覆厚度小于等于10微米，所述氧化物涂层的涂覆厚度小于等于200纳米。

11.根据权利要求7或8所述的测量元件，其特征在于，

所述凸缘(16)在所述防氢渗透层的径向外端部与所述第二位置(P2)之间设置有气凝胶。

12.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括根据权利要求1-11中的任一项所述的测量元件。