[实用新型]精密气室背压阀

说明书

本实用新型提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合；第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合；进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通；进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通；排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通。

技术领域

本实用新型涉及背压阀技术领域，具体而言，涉及一种精密气室背压阀。

背景技术

目前，在相关技术中，随着工业的发展，背压阀被用于电子，半导体石油化工，生物制药，实验室，大学等气体液体管路。可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动，在管道上主要起稳压作用。而现有背压阀的背压值一般在大于1bar到50bar范围，由于背压值误差偏大，精度低，很难达到理想的压力状态，无法进行精确调整压力。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种精密气室背压阀。

有鉴于此，本实用新型提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽呈环形，且第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽呈环形，且第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫为弹性体，第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合；第二密封垫为弹性体，第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合；进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通；进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通；排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通；其中，第二凹槽绕设在第一凹槽外侧。

在该技术方案中，首先，通过使阀体呈圆柱形，第一凹槽呈环形，且第一凹槽设置在阀体上，膜片呈圆片形，膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室，以通过第一气室来储存流体；其次，通过将阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室，以通过第二气室来储存信号气体；再次，通过使第二凹槽呈环形，且第二凹槽设置在阀盖上，将第一密封垫为弹性体，第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合，以实现第一密封垫与第一气室的密封作用；再次，通过将第二密封垫为弹性体，第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合，以实现对第二气室的密封作用；再次，通过将进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通，以使信号气体从进气口进入第二气室中；再次，通过将进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通，以使流体从进入通道进入第一气室中；再次，通过将排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通，以使第一气室内的流体从排出通道排出；再次，通过使第二凹槽绕设在第一凹槽外侧，以提高密封效果，防止流体漏出。采用此种连接方式，结构简单，通过使信号气体从进气口进入第二气室，以通过信号气体对膜片施加压力，并使流体从进气通道进入膜片下方的第一气室；当流体压力与作用于膜片上的信号气体压力相等时，背压阀就处于平衡状态，这时背压阀处于关断状态，只要流体压力小于等于膜片上方信号气体施加的压力，背压阀就是关闭的；背压阀保持阀之前施加的压力，当流体压力大于膜片上方压力时，流体带动膜片向上移动，阀芯打开，流体从排气通道排出，使进口压力保持稳定，同时实现对压力的精确控制；精度是弹簧式背压阀5倍，柔性膜片无摩擦，先导阀可以设定压力，背压与先导压力1:1，压力控制精度高，运行平稳。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的精密气室背压阀还可以具有如下附加技术特征：