[实用新型]一种PN结压阻式扩散硅压力传感器有效
| 申请号： | 201922242488.X | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN210922903U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 贾文博;张治国;郑东明;祝永峰;任向阳;关维冰;白雪松;尹萍 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 杨滨 |
| 地址： | 110172 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pn 结压阻式 扩散 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种PN结压阻式扩散硅压力传感器，它包括有晶圆片，其特征在于：在晶圆片上分布有凸起的阻条器件及压焊点，在阻条器件的顶部还覆盖有电极，在晶圆片及压焊点的外表面还设置有一氧气层或氮化层。
2.根据权利要求1所述的PN结压阻式扩散硅压力传感器，其特征在于：所述的阻条器件为蛇型式结构。
3.根据权利要求1所述的PN结压阻式扩散硅压力传感器，其特征在于：阻条器件的边沿形状为避免尖端放电的圆角结构。
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