[实用新型]一种浸没式光刻装置

说明书

本实用新型提供了一种浸没式光刻装置，属于半导体制品领域。该浸没式光刻装置包括透镜、支撑组件、卡接组件和定位组件。所述卡接组件包括底座和滑杆，所述滑杆的一端固定有齿条，所述齿条与所述齿轮啮合，所述基板台中部开设有通槽，所述通槽侧壁开设有卡槽，所述滑杆的一端与所述卡槽卡接；通过设置的基板台便于底座的固定，通过设置的滑杆与卡槽卡接，通过旋转转轴带动齿条移动，使得齿条带动滑杆移动，使得滑杆的一端与卡槽插接，便于底座卡接固定，通过增设的吸盘，按压橡胶气囊，使得吸盘端部产生负压，便于吸附晶片，对晶片进行吸附定位，使得加工过程中晶片稳固，便于晶片的取放，操作方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及半导体制品领域，具体而言，涉及一种浸没式光刻装置。

背景技术

目前，半导体器件和液晶装置的制造是通过一个所谓的光刻技术，其中掩模上的图案转移到感光基板。

现有的实验研究过程中，通过装置对晶片进行固定使用时，拿取不便，使得工作效率低下。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种浸没式光刻装置，旨在改善晶片取放不便的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种浸没式光刻装置，包括透镜、支撑组件、卡接组件和定位组件。

所述支撑组件包括掩模台和基板台，所述基板台嵌装于所述掩模台中部，所述掩模台上表面固定有罩体，所述透镜固定于所述罩体顶部。

所述卡接组件包括底座和滑杆，所述滑杆滑动插接在所述底座侧壁，所述底座下表面转动插接有转轴，所述转轴的一端固定有齿轮，所述滑杆的一端固定有齿条，所述齿条与所述齿轮啮合，所述基板台中部开设有通槽，所述通槽侧壁开设有卡槽，所述底座插接在所述通槽内，所述滑杆的一端与所述卡槽卡接.

所述定位组件包括吸盘和橡胶气囊，所述吸盘固定在所述底座上表面，所述橡胶气囊固定在所述底座下表面，所述橡胶气囊的吸气端口与所述吸盘连通。

在本实用新型的一种实施例中，所述底座内开设有中空槽，所述齿条设置在所述中空槽内，所述中空槽两侧分别开设有滑槽，所述滑杆滑动插接在所述滑槽内。

在本实用新型的一种实施例中，所述转轴的一端固定有旋钮，所述转轴的另一端连接有弹性件，所述弹性件的一端与所述中空槽内部连接。

在本实用新型的一种实施例中，所述通槽内壁开设有限位槽，所述底座侧壁固定有限位块，所述限位块与所述限位槽配合卡接。

在本实用新型的一种实施例中，所述底座与所述基板台连接处设置有密封垫，所述基板台上表面开设有引流槽，所述基板台下表面开设有引流口，所述引流口端口设置有堵头。

在本实用新型的一种实施例中，所述底座内开设有通孔，所述吸盘连接在所述通孔上端口，所述橡胶气囊连接在所述通孔下端口。

在本实用新型的一种实施例中，所述基板台上表面设置有进液管和吸液管，所述进液管与所述吸液管分别设置在所述基板台两侧，所述进液管与所述吸液管设置在所述罩体内。

在本实用新型的一种实施例中，所述进液管的一端连接有喷嘴，所述进液管的另一端连通有第一连接口，所述吸液管的一端连接有吸嘴，所述吸液管的另一端连通有第二连接口。

在本实用新型的一种实施例中，所述掩模台下表面固定有支撑腿，所述支撑腿下表面粘贴有防滑垫。

在本实用新型的一种实施例中，所述罩体外表面开设有调压口，所述调压口上端设置有气压调节阀。