[实用新型]一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺

说明书

本实用新型公开了一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，包括：下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上部支撑框，所述上部支撑框内侧的相对两端分别设置有检测质量块，所述检测质量块两侧通过检测组合梁与所述上部支撑框连接，两个所述检测质量块之间设置有驱动质量块，所述驱动质量块位于上部支撑框中心，所述驱动质量块通过驱动组合梁与所述检测质量块连接。本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，采用内部驱动带动外部质量块检测，起到正交解耦效果，利用平面线圈动生电动势效应检测微弱柯式力，位移灵敏度高，结构合理、紧凑，抗电磁干扰能力强，且具有噪声小、稳幅驱动的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，属微惯性导航技术相关领域。

背景技术

陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件，在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的作用。对于徽陀螺仪而言，正交误差是影响其性能的重要因素。在理想情况下，当没有角速度输入时，单纯的驱动运动不会耦合到检测方向，相似地，单纯的检测运动也不会导致驱动方向的运动，但是由于加工误差的必然存在，在没有解耦的情况下，驱动运动和检测运动之间会相互影响，即使在没有角速度输入的情况下，检测方向也会存在位移，这就是正交误差产生的主要原因，在有角速度输入时，检测运动也会带动驱动机构运动，进而导致驱动运动的不稳定。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述问题，提供一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，驱动与检测互不影响，以平面线圈动生电动势效应检测提高微小型陀螺仪的检测精度和分辨率，使检测更加精确、稳定。

本实用新型的方案如下：

一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，包括：下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上部支撑框，所述上部支撑框内侧的相对两端分别设置有检测质量块，所述检测质量块两侧通过检测组合梁与所述上部支撑框连接，两个所述检测质量块之间设置有驱动质量块，所述驱动质量块位于上部支撑框中心，所述驱动质量块通过驱动组合梁与所述检测质量块连接。

可选地，所述检测质量块中心布置平面线圈，所述上部支撑框上设置有检测信号输出电极，所述平面线圈的端部分别与一引线连接，所述引线一端与所述平面线圈连接，所述引线另一端通过检测组合梁引至支上部支撑框上并与检测信号输出电极连接。

可选地，所述平面线圈上设置有用于铺设引线的绝缘层，当引线通过平面线圈时，所述引线铺设在所述绝缘层上。

可选地，所述上部支撑框上设置有驱动信号输入电极，所述驱动质量块的靠近检测质量块的两侧分别设置有驱动反馈导线和驱动导线，位于所述驱动质量块一侧的驱动反馈导线两端通过驱动组合梁和检测组合梁引至上部支撑框上并与该侧的驱动信号输入电极连接，位于所述驱动质量块另一侧的驱动导线两端通过驱动组合梁和检测组合梁引至上部支撑框上并与该侧的驱动信号输入电极连接。

可选地，所述键合框体为矩形框。

可选地，上部支撑框为矩形框。

可选地，所述下基板上设置有驱动磁体和检测磁体，所述驱动磁体对应所述驱动组合梁的位置设置，所述检测磁体对应所述检测质量块的位置设置。

可选地，所述驱动组合梁包括驱动悬臂梁和驱动梁连接块，所述驱动梁连接块一端的两侧设置有突出部，整所体呈“T”形，两个所述驱动悬臂梁分别位于驱动梁连接块两侧并且一端与突出部连接，所述驱动悬臂梁另一端与所述驱动质量块连接，所述驱动梁连接块另一端与所述检测质量块连接。

可选地，所述检测组合梁包括检测悬臂梁和检测梁连接块，所述检测梁连接块一端的两侧设置有突出部，整所体呈“T”形，两个所述检测悬臂梁分别位于检测梁连接块两侧并且一端与突出部连接，所述检测悬臂梁另一端与所述检测质量块连接，所述检测梁连接块另一端与所述上部支撑框连接。

本实用新型的有益效果在于：