[实用新型]一种六面包覆型芯片尺寸的封装结构有效
申请号: | 201922249227.0 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN211017056U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 金豆;徐虹;徐霞;陈栋;张黎;张国栋;陈锦辉;赖志明 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214434 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 面包 芯片 尺寸 封装 结构 | ||
1.一种包覆型芯片尺寸的封装结构,其包括硅基本体(111)和芯片电极(113),且芯片电极(113)嵌入硅基本体(111)表面,露出芯片电极正面,在所述硅基本体(111)表面设置钝化层(210),且在芯片电极处设置有钝化层开口(213),所述钝化层开口(213)尺寸小于芯片电极(113)尺寸,且露出芯片电极(113)的正面,
其特征在于,所述钝化层上覆盖介电层Ⅰ(310),且与钝化层开口(213)处设置介电层Ⅰ开口(311),所述介电层Ⅰ开口(311)的尺寸小于钝化层开口(213)的尺寸,所述介电层Ⅰ(310)的覆盖面积小于钝化层(210)的面积并露出钝化层(210)的边缘,在所述介电层Ⅰ(310)上覆盖金属种子层Ⅰ(410),再在所述金属种子层Ⅰ(410)上覆盖再布线金属层(510);
在所述再布线金属层(510)上覆盖介电层Ⅱ(320),且在所需位置处相应设置介电层Ⅱ开口(321),所述介电层Ⅱ(320)的侧面与介电层Ⅰ(310)的侧面齐平,在所述介电层Ⅱ开口(321)处依次设置金属种子层Ⅱ(420)和金属凸块(520),所述金属凸块(520)上设置焊球(600);
还包括包覆层Ⅰ(123)和包覆层Ⅱ(132),所述包覆层Ⅰ(123)设置于硅基本体(111)的四周和背面,其上表面向上延展与介电层Ⅱ(320)的上表面齐平,所述包覆层Ⅱ(132)覆盖介电层Ⅱ(320)和包覆层Ⅰ(123)的上表面,其上表面与金属凸块(520)的上表面齐平。
2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述包覆层Ⅰ(123)与包覆层Ⅱ(132)是一体结构,将硅基本体(111)的六个面包覆其中。
3.根据权利要求1或2所述的封装结构,其特征在于,还包括硅基加强层(810),所述硅基加强层(810)设置在包覆层Ⅰ(123)的背面。
4.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述金属种子层Ⅰ(410)包括下层的黏附、阻挡层和上层的铜金属种子层。
5.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述金属种子层Ⅱ(420)包括下层的黏附、阻挡层和上层的铜金属种子层。
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