[实用新型]用于刻蚀机台的电极有效
| 申请号： | 201922249595.5 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211719556U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 豆海清;郑亮;刘青松;邵克坚;任连娟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳;高翠花 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 刻蚀 机台 电极 | ||
1.一种用于刻蚀机台的电极，其特征在于，包括内电极，所述内电极的一表面具有凸起部，所述凸起部朝向远离所述内电极的方向凸起。
2.根据权利要求1所述的电极，其特征在于，所述凸起部为弧形凸起。
3.根据权利要求1所述的电极，其特征在于，所述凸起部为以所述内电极的中心线为对称线的对称结构。
4.根据权利要求1所述的电极，其特征在于，所述内电极的所述表面还设置有平坦部，所述平坦部设置在所述凸起部的外侧，所述凸起部自所述平坦部凸伸。
5.根据权利要求4所述的电极，其特征在于，所述电极还包括外电极，所述外电极设置在所述内电极外围，所述外电极的一表面为平坦面。
6.根据权利要求5所述的电极，其特征在于，所述凸起部自所述外电极的所述表面凸伸。
7.根据权利要求5所述的电极，其特征在于，所述平坦部的表面与所述外电极的表面平齐。
8.根据权利要求5所述的电极，其特征在于，所述外电极以所述内电极的中心线为对称线对称设置。
9.根据权利要求5所述的电极，其特征在于，所述外电极具有一朝向所述内电极的支撑部，所述内电极具有对应所述支撑部的台阶，所述支撑部与所述台阶的台阶面接触，以支撑所述内电极。
10.根据权利要求5所述的电极，其特征在于，所述外电极的所述表面为水平平坦面。
11.根据权利要求4所述的电极，其特征在于，所述凸起部包括第一区域及设置在所述第一区域外侧的第二区域，所述第二区域与所述平坦部相接，所述第一区域为朝向远离所述内电极的方向凸起的下凸构型，所述第二区域为朝向接近所述内电极的方向凹陷的上凹构型，所述第一区域自所述第二区域凸伸。
12.根据权利要求11所述的电极，其特征在于，所述平坦部自所述第二区域凸伸。
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