[实用新型]一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置

权利要求书

1.一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，其特征在于，由键合基板(1)，驱动组合梳齿(2、3、4、5)，Y轴质量块(14、16)，X轴质量块(15、17)；Z轴检测质量块(46、47、48、49)，第一驱动连接组合梁(42、43、44、45)，第二驱动连接组合梁(38、39、40、41)，第三驱动连接组合梁(54、55、56、57)，Z轴检测组合梁组件(50、51、52、53)，支撑锚点组件、检测磁阻组件、检测电极组件组成；

所述键合基板(1)上设置有的凹槽；

所述支撑锚点组件分别设置在所述凹槽的中心以及靠近所述凹槽内侧边的位置；

所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)一端通过所述第三驱动连接组合梁(55、57、54、56)与凹槽中心的支撑锚点组件连接；所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)通过第二驱动连接组合梁(38、39、40、41)与靠近凹槽内侧边的支撑锚点组件连接；

所述Y轴质量块(14、16)以Y轴为中心对称设置在所述键合基板(1)的凹槽内，所述X轴质量块(15、17)以X轴为中心对称设置在所述键合基板(1)的凹槽内；

相邻的所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)通过第一驱动连接组合梁(42、43、44、45)互相连接；

所述Z轴检测质量块(46、47、48、49)分别设置在所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)内侧；所述Z轴检测质量块(46、47、48、49)分别通过Z轴检测组合梁组件(50、51、52、53)与所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)连接；

所述驱动组合梳齿(2、3、4、5)分别设置在所述键合基板(1)凹槽的内侧边上并与所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)连接；

所述检测磁阻组件分别设置在所述Y轴质量块(14、16)、X轴质量块(15、17)和Z轴检测质量块(46、47、48、49)上，所述检测磁阻组件分别通过引线与设置在所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)边缘的检测电极组件连接。

2.根据权利要求1所述的基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，其特征在于，所述凹槽内设置有检测磁体组件，所述检测磁体组件包括：Y轴检测磁体(6、8)，X轴检测磁体(7、9)和Z轴检测磁体(10、11、12、13)，所述Y轴检测磁体(6、8)以Y轴为中心对称分别设置在所述凹槽内的两侧，所述X轴检测磁体(7、9)以X轴为中心分别设置在所述凹槽内的两侧，所述Z轴检测磁体(10、11、12、13)分别对应所述Z轴检测质量块(46、47、48、49)的位置设置，所述Z轴检测磁体(10、11、12、13)分别沿X、Y轴为中心对称设置。

3.根据权利要求2所述的基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，其特征在于，所述支撑锚点组件包括：支撑锚点(34、35、36、37)和中心锚点(58)，所述中心锚点(58)设置在所述凹槽中心，所述支撑锚点(34、35、36、37)分别设置在靠近所述凹槽内侧边的位置。

4.根据权利要求3所述的基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，其特征在于，所述Y轴质量块(14、16)和X轴质量块(15、17)内侧具有安装Z轴检测质量块(46、47、48、49)的空间，所述Y轴质量块(14、16)一端通过第三驱动连接组合梁(54、55、56、57)与所述中心锚点(58)连接并沿Y轴对称设置在所述键合基板(1)的凹槽内，所述X轴质量块(15、17)一端通过第三驱动连接组合梁(54、55、56、57)与所述中心锚点(58)连接并沿X轴对称设置在所述键合基板(1)的凹槽内。