[实用新型]一种新型灭弧罩保护装置

说明书

为了解决在PVD真空镀膜的过程中靶材在灭弧罩上积累从而影响灭弧罩的使用性能的问题，本实用新型提出一种新型灭弧罩保护装置，其包括：灭弧罩主体1，灭弧罩主体1为圆环形结构，圆环形结构的包括内部侧面、外部侧面、上表面和下表面，其特征在于：所述的新型灭弧罩保护装置还包括衬套2，衬套2包括遮挡面21和侧面22，侧面22与遮挡面21垂直连接，遮挡面21上设有第一螺丝锁紧孔211和第二螺丝锁紧孔212，灭弧罩主体1的下表面上设有第三螺丝锁紧孔和第四螺丝锁紧孔，在第一螺丝锁紧孔211和第三螺丝锁紧孔中打入第一螺丝，在第二螺丝锁紧孔212和第四螺丝锁紧孔中打入第二螺丝，衬套2的侧面22位于灭弧罩主体1的内部侧面的内部。

技术领域

本实用新型属于表面处理技术领域，较为具体的，涉及到一种新型灭弧罩保护装置。

背景技术

在PVD真空镀膜技术领域，灭弧罩安装在靶材的外侧，且灭弧罩不能与靶材接触，由于灭弧罩的功能需求，灭弧罩的材质相对比较特殊，所以造价成本很高，一个灭弧罩的售价在几千元甚至上万元，在真空镀膜的过程中，靶材在灭弧罩上积累会影响灭弧罩的功能，但是灭弧罩的清理需要极其小心，因为一旦处理不好整个灭弧罩全部报废，生产成本过高。

发明内容

为了解决在PVD真空镀膜的过程中靶材在灭弧罩上积累从而影响灭弧罩的使用性能的问题，本实用新型提出一种新型灭弧罩保护装置，其通过在灭弧罩主体的外表面上设置两个螺丝孔，然后在灭弧罩主体的外部增加衬套，衬套的遮挡面上也设有两个螺丝孔，然后通过螺丝将衬套与灭弧罩进行固定，使得靶材在真空镀膜过程中溅射在灭弧罩上，从而避免了靶材直接溅射在灭弧罩的表面，避免了对灭弧罩的直接伤害，延长了灭弧罩的使用寿命。当衬套上的溅射的靶材量较大时，直接将固定衬套和灭弧罩主体的螺丝松开，然后更换新的衬套，衬套的材质普通，就是常见的金属，所以衬套的造价比较便宜，单件成本在几十元，这样可以降低生产成本。

一种新型灭弧罩保护装置，其包括：灭弧罩主体1，灭弧罩主体1为圆环形结构，圆环形结构的包括内部侧面、外部侧面、上表面和下表面，其中上表面和下表面为平面结构，内部侧面和外部侧面为圆环形，上表面分别与内部侧面和外部侧面的上部连接，下表面分别与内部侧面和外部侧面的下部连接，其特征在于：所述的新型灭弧罩保护装置还包括衬套2，衬套2包括遮挡面21和侧面22，侧面22为圆柱形，遮挡面21为平面结构，侧面22与遮挡面21垂直连接，遮挡面21上设有第一螺丝锁紧孔211和第二螺丝锁紧孔212，灭弧罩主体1的下表面上设有第三螺丝锁紧孔和第四螺丝锁紧孔，其中第一螺丝锁紧孔211和第三螺丝锁紧孔的位置匹配，第二螺丝锁紧孔212和第四螺丝锁紧孔的位置匹配，在第一螺丝锁紧孔211和第三螺丝锁紧孔中打入第一螺丝，在第二螺丝锁紧孔212和第四螺丝锁紧孔中打入第二螺丝，可以使得灭弧罩主体1与衬套2固定连接，衬套2的侧面22位于灭弧罩主体1的内部侧面的内部。

进一步的，衬套2与灭弧罩主体1的连接方式还可以包括卡扣的连接方式。

进一步的，灭弧罩主体1的上表面上固定有第一凸台11，第一凸台11的上表面上固定有第二凸台12，第二凸台12上设有卡口13，卡口13可以与靶材周围的卡扣匹配，从而将灭弧罩主体1悬浮固定在靶材的表面。

进一步的，卡口13的数量为2个，分别为第一卡口131和第二卡口132，其中第一卡口131和第二卡口132分别位于灭弧罩第二凸台12的轴对称的位置。

进一步的，卡口13的形状设置为不对称的形状，这样具有防呆作用。

进一步的，衬套2的材质为金属材质。

由此可见，采用本实用新型的新型灭弧罩保护装置，可以将衬套与灭弧罩进行固定，使得靶材在真空镀膜过程中溅射在灭弧罩上，从而避免了靶材直接溅射在灭弧罩的表面，避免了对灭弧罩的直接伤害，延长了灭弧罩的使用寿命，降低了生产成本。