[实用新型]一种石英舟

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，具体公开一种石英舟。该石英舟包括舟体和舟盖，舟体内底面和相对的两个侧面均间隔且成对设置有多个第一卡片板，成对的两个第一卡片板之间形成第一卡槽，舟体在相邻的两个第一卡槽的位置处设置为开口结构，舟体的另外两个侧面为开口结构，舟盖能够盖设于舟体上，舟盖的顶面间隔且成对设置有多个第二卡片板，成对的两个第二卡片板之间形成第二卡槽，舟盖盖设于舟体上后，第一卡槽和与其对应的第二卡槽之间形成方形卡槽，方形卡槽内能够容纳两个硅片，方形卡槽与硅片的边缘过盈配合。在使用时，每个方形卡槽内的两个硅片只有向外的表面会接触到反应气体，从而避免硅片在镀膜工序中发生绕镀的现象。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片置于LPCVD真空镀膜设备中完成镀膜工序，在PECVD真空镀膜设备中通常采用石英舟进行电池片的承载和工艺，对于管式LPCVD镀膜，单面沉积比起双面沉积更具有节约硅烷成本，提高产能的优势。

现有技术中，由于放置于石英舟上的硅片与卡槽之间存在间隙，在对硅片进行镀膜工艺时，反应气体很容易从间隙中进入，并在硅片不需要镀膜的表面上形成镀膜层，即发生绕镀现象。硅片镀膜工艺完成后，还要对硅片进行清洗，但是发生绕镀现象的硅片清洗步骤较为复杂，工艺成本较高。此外，如果绕镀现象发生在硅片的侧面，则很容易破坏硅片表面完好的镀膜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石英舟，结构简单，能够避免硅片在镀膜工序中发生绕镀的现象，保证硅片的镀膜效果。

如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：

一种石英舟，包括：

舟体，其内底面和相对的两个侧面均间隔且成对设置有多个第一卡片板，成对的两个所述第一卡片板之间形成第一卡槽，所述舟体在相邻的两个所述第一卡槽的位置处设置为开口结构，所述舟体的另外两个侧面为开口结构；

舟盖，其能够盖设于所述舟体上，所述舟盖的顶面间隔且成对设置有多个第二卡片板，成对的两个所述第二卡片板之间形成第二卡槽；

所述舟盖盖设于所述舟体上后，所述第一卡槽和与其对应的所述第二卡槽之间形成方形卡槽，所述方形卡槽内能够容纳两个硅片，所述方形卡槽与所述硅片的边缘过盈配合。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一卡槽的槽宽和所述第二卡槽的槽宽均为两个所述硅片的厚度之和。

作为一种石英舟的优选方案，在所述第一卡槽的槽壁上和所述第二卡槽的槽壁上均设置有弹性层。

作为一种石英舟的优选方案，所述第一卡槽靠近所述第二卡槽的一端开口呈喇叭状。

作为一种石英舟的优选方案，所述舟盖转动设置于所述舟体上。

作为一种石英舟的优选方案，所述石英舟还包括转轴，所述转轴穿设于所述舟盖上，且所述转轴的两端固定于所述舟体上，所述舟盖能够绕所述转轴转动。

作为一种石英舟的优选方案，所述转轴为螺杆，所述螺杆的两端通过螺母固定于所述舟体上。

作为一种石英舟的优选方案，所述石英舟还包括锁扣组件，所述锁扣组件被配置为锁合所述舟体和所述舟盖。

作为一种石英舟的优选方案，所述锁扣组件包括凸起和锁合件，当所述凸起设置于所述舟体上时，所述锁合件设置于所述舟盖上，当所述锁合件设置于所述舟体上时，所述凸起设置于所述舟盖上；

所述锁合件上设置有凹槽，所述凸起能够卡接于所述凹槽内。

作为一种石英舟的优选方案，所述舟盖上设置有扣手。

本实用新型的有益效果为：