[实用新型]一种硅铝复合抛光粉的制备系统

说明书

本实用新型公开了一种硅铝复合抛光粉的制备系统，包括硅铝前驱体合成槽、过滤机构、预烘机构、第一粉碎机构、混料机构、煅烧机构、第二粉碎机构、分级机构和成品仓，所述硅铝前驱体合成槽的反应产物通过第一管路与过滤机构相连，所述过滤机构的滤渣通过第二管路与预烘机构相连，所述预烘机构的出料通过第三管路与第一粉碎机构相连，所述第一粉碎机构的粉碎产物通过第四管路与混料机构相连，所述混料机构的出料通过第五管路与煅烧机构相连，所述煅烧机构的出料通过第六管路与第二粉碎机构相连，所述第二粉碎机构的出料通过第七管路与分级机构相连，所述分级机构的出料与成品仓相连。本实用新型中的制备系统的结构简单，自动化程度高。

技术领域

本实用新型属于无机磨料制备领域，尤其涉及一种抛光粉的制备系统。

背景技术

单晶蓝宝石具有良好的物理、化学和光学特性，在微电子、工业、国防、科研以及GaN晶片LED衬底领域得到越来越广泛的应用。随着科学技术的不断发展，对于蓝宝石晶片的加工精度以及表面质量要求越来越高，因此得到一种适用于蓝宝石衬底的高效低损加工磨料成为阻碍蓝宝石工业发展的主要障碍。

经科研人员对目前蓝宝石衬底抛光工艺研究表明，目前蓝宝石衬底抛光主流工艺采用SiO₂磨料进行超精细抛光，在合适的温度、pH值、抛光转速以及浓度下，能保证良好的表面状态，但去除速率只能达到4.0-5.5um/h。但随着科技和市场的不断发展，这样的抛光速率已经满足不了行业内的要求了。硅铝复合抛光粉相比于上述SiO₂磨料具有去除速率高、生产良率高等优点，但现有硅铝复合抛光粉的制备系统制备得到硅铝复合抛光粉的质量参差不齐，难以保证硅铝复合抛光粉作用最大化发挥，且制备系统相对复杂。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服以上背景技术中提到的不足和缺陷，提供一种硅铝复合抛光粉的制备系统，该硅铝复合抛光粉能保证制备得到的产物质量更加优异。为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案为：

一种硅铝复合抛光粉的制备系统，包括硅铝前驱体合成槽、过滤机构、预烘机构、第一粉碎机构、混料机构、煅烧机构、第二粉碎机构、分级机构和成品仓，所述硅铝前驱体合成槽的反应产物通过第一管路与过滤机构相连，所述过滤机构的滤渣通过第二管路与预烘机构相连，所述预烘机构的出料通过第三管路与第一粉碎机构相连，所述第一粉碎机构的粉碎产物通过第四管路与混料机构相连，所述混料机构的出料通过第五管路与煅烧机构相连，所述煅烧机构的出料通过第六管路与第二粉碎机构相连，所述第二粉碎机构的出料通过第七管路与分级机构相连，所述分级机构的出料与成品仓相连。

上述硅铝复合抛光粉的制备系统中，优选的，所述硅铝前驱体合成槽上设有碳酸氢铵加料管、硫酸铝铵加料管和正硅酸乙酯加料管。

上述硅铝复合抛光粉的制备系统中，优选的，所述硅铝前驱体合成槽中设有搅拌装置。搅拌装置利于硅铝前驱体合成槽中反应过程的进行。

上述硅铝复合抛光粉的制备系统中，优选的，所述第四管路中设有用于称量加入混料机构中粉碎产物质量的称量装置。称量装置可以确定加入混料机构中粉碎产物的质量，方便后续确定煅烧促进剂的加入量。

上述硅铝复合抛光粉的制备系统中，优选的，所述混料机构上设有用于向混料机构中加入煅烧促进剂的煅烧促进剂加料系统。

上述硅铝复合抛光粉的制备系统中，优选的，所述煅烧促进剂加料系统中包括加料仓和用于控制加料仓中加入混料机构中煅烧促进剂的量的计量加料装置。煅烧促进剂加料系统的加料仓中存储有煅烧促进剂(如氧化铝粉末)，通过前面称量装置反馈的数据可以确定煅烧促进剂的加入量，通过计量加料装置可以精确控制煅烧促进剂的加入量，减小人工操作的同时也减小人工操作带来的误差。