[实用新型]基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统有效
| 申请号： | 201922254704.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211061850U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 崔文荣 | 申请（专利权）人： | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 半导体 制冷 光刻 led uv 光源 散热 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统，其特征在于：包括导热板(1)、半导体制冷片(2)和散热风扇(3)，所述导热板(1)与LED UV灯板(4)紧密连接，所述LEDUV灯板(4)上均布有多个灯珠，所述半导体制冷片(2)冷端与导热板(1)连接，所述散热风扇(3)设置在导热板(1)上方，且所述半导体制冷片(2)热端连接靠近散热风扇(3)。
2.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统，其特征在于：所述半导体制冷片(2)包括两个金属基板(5)，两个金属基板(5)之间设置多个半导体制冷晶粒(6)，所述半导体制冷晶粒(6)均呈柱状，且多个半导体制冷晶粒(6)呈矩阵排列；所述金属基板(5)靠近半导体制冷晶粒(6)的侧面均固定设置有多个导流金属片(7)，多个半导体制冷晶粒(6)通过多个导流金属片(7)串联电连接。
3.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统，其特征在于：所述导热板(1)包括金属基片(8)，所述金属基片(8)表面焊接有多个导热翅片(9)，所述导热翅片(9)呈V形结构。
4.根据权利要求1所述的一种基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统，其特征在于：所述散热风扇(3)设置2-4组。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏晟驰微电子有限公司，未经江苏晟驰微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922254704.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：全封闭全绝缘环网开关设备
- 下一篇：一种废润滑油再生深拔基础油装置
