[实用新型]一种用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置有效
申请号: | 201922261959.1 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN210834142U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 栾国旗 | 申请(专利权)人: | 天津美芯电子科技有限公司 |
主分类号: | G01M13/00 | 分类号: | G01M13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300352 天津市津南区葛沽镇滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 切割 切片 机主 综合 性能 测试 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置,包括测试台和检测装置,所述测试台的上表面安装有检测装置,所述测试台的下表面四角均安装有万向轮,所述销杆的外侧一体成型有拉环。该用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置,通过滚珠丝杠丝杠杆、滚珠丝杠丝杠套和连接柱的配合,使支撑座能够从测试台底部伸出,从而使整体机构在工作时保持稳定,通过电机、第三齿轮、电源接口和开关的配合,实现了动力供给,从而控制支撑座的升降。通过上述结构,实现了整体机构的防尘目的,降低维护周期,减少维护成本,并增加了整体机构的转运效率的同时,增加了整体机构的稳定性,使整体机构在闲置期的转运更加便捷。
技术领域
本实用新型涉及多线切割切片机主辊综合性能测试装置技术领域,具体为一种用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置。
背景技术
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。
在多线切割切片机工作之前,需要对其主辊进行综合性能测试,以防止主辊不合格导致加工出的产品出现误差,导致废品的产生,例如专利号为CN201920185832.3的专利,包括主辊和模拟线网张力加载装置,所述多线切割机主辊和模拟线网张力加载装置安装于试验台底座上,所述试验台上安装有主辊性能检测装置,所述主辊性能检测装置通过信息采集模块与控制终端相连接,虽然该试验台能够综合反应主辊空载和模拟实际线网对主辊张力工况运转性能,实现对主辊进行综合性能测试,但由于该装置仅在多线切割切片机的主辊需要进行更换时才会使用,更多时间会处于闲置状态,因此会导致落尘现象的产生,需要定期对测试装置进行清理,耗费人力物力,且该测试装置转运不便,在闲置状态需要转运至别处时易发生磕碰,导致整体机构易损坏,产生不必要的损失。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置,以解决上述背景技术中提出的现有的测试装置仅在多线切割切片机的主辊需要进行更换时才会使用,更多时间会处于闲置状态,因此会导致落尘现象的产生,需要定期对测试装置进行清理,耗费人力物力的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于多线切割切片机主辊综合性能测试装置,包括测试台和检测装置,所述测试台的上表面安装有检测装置,所述测试台的下表面四角均安装有万向轮,所述检测装置的外侧套有防尘机构,所述防尘机构的底部与测试台的上表面相固接;
所述防尘机构包括防尘盖、把手、连接座、销杆和拉环;
所述防尘盖的两侧均固接有把手,所述防尘盖的底部均匀与多个连接座相套接,多个所述连接座的下表面均与测试台的上表面相固接,所述防尘盖与多个连接座的套接处均与销杆过盈配合,所述销杆的外侧一体成型有拉环。
优选的,所述销杆的外壁包裹有橡胶。
优选的,所述测试台的底部与支撑座滑动套接,所述支撑座通过两个伸缩机构与测试台活动相连;
所述伸缩机构包括滚珠丝杠丝杠杆、连接柱、滚珠丝杠丝杠套和第一齿轮;
所述滚珠丝杠丝杠杆的底部通过轴承与连接柱活动相连,所述连接柱的前后两端均与测试台相固接,所述滚珠丝杠丝杠杆与滚珠丝杠丝杠套滑动套接,所述滚珠丝杠丝杠套通过螺栓与支撑座相固接,所述滚珠丝杠丝杠套的顶端与第一齿轮过盈配合,所述滚珠丝杠丝杠套的第一齿轮下方位置通过轴承与测试台活动相连。
优选的,所述支撑座与测试台和连接柱的间隙为2mm~3mm。
优选的,两个所述第一齿轮之间通过传动机构活动相连;
所述传动机构包括转轴、第二齿轮和支撑架;
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