[实用新型]研磨抛光机

权利要求书

1.一种研磨抛光机，其特征在于，包括：

机架；

工作台，安装在机架上下方向的中部；

抛光盘，回转地安装在工作台上；

第一驱动总成，用于驱动抛光盘绕其自身轴线旋转；

抛光布，贴装在抛光盘的上表面，并在抛光盘的周缘向外余留出夹紧部分；

锁紧件，该锁紧件与抛光盘共轴线并包括一压环部和一套部，以及连接压环部和套部的连接部；其中，压环部压在抛光布位于抛光盘上表面部分的周缘；套部则套装在抛光盘上，用于将所述夹紧部分夹持在套部与抛光盘侧面间；压环部的径向具有第一导流槽；套部内具有第二导流槽；

夹具，安装在机架上并位于工作台的上方，用于夹装工件。

2.根据权利要求1所述的研磨抛光机，其特征在于，套部内表面周向分布有齿形支撑部，该齿形支撑部的齿顶与抛光盘侧面配合用于夹持所述夹紧部分；

齿形支撑部的齿槽构成所述第二导流槽。

3.根据权利要求2所述的研磨抛光机，其特征在于，所述齿形支撑部的齿廓为圆顶三角齿廓。

4.根据权利要求2或3所述的研磨抛光机，其特征在于，套部相应于齿形支撑部的齿顶圆与抛光盘外柱面的半径差小于等于抛光布厚度，并大于等于五分之四抛光布厚度。

5.根据权利要求1所述的研磨抛光机，其特征在于，压环部的下表面环形阵列有压齿，相应压齿槽构成所述第一导流槽。

6.根据权利要求5所述的研磨抛光机，其特征在于，所述压齿为锯形齿或等腰梯形齿。

7.根据权利要求1所述的研磨抛光机，其特征在于，所述连接部为弧形部，使压环部与套部间留有第一距离，并使连接部在竖向与抛光盘上表面间留有第二距离，以形成让位槽。

8.根据权利要求1所述的研磨抛光机，其特征在于，所述工作台包括：

底盘，该底盘边侧部开有流道，中心开有过孔；

侧壁，该侧壁为竖直的套状壁，下端与底盘一体或液密封连接而形成桶状结构；

相应地，抛光盘和锁紧件部分地容置在桶状结构的桶内；

抛光盘则由从下经由过孔穿过的支撑轴支承而形成回转支承，相应地，支撑轴与过孔间通过轴承装配。

9.根据权利要求8所述的研磨抛光机，其特征在于，环绕过孔，所述底盘上设有环形堰；

相应地，所述流道开在环形堰外。

10.根据权利要求1所述的研磨抛光机，其特征在于，所述夹具通过竖直面内的二自由度平台安装在机架的上端。