[实用新型]一种低阈值恒流量微阀

权利要求书

1.一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：包括阀体（1）、入口蓄液池（2）、薄膜（3）、溢流孔（4）、调流腔（5）、流体出口（6）；

所述阀体（1）内设有入口蓄液池（2）、薄膜（3）、调流腔（5）和流体出口（6），所述薄膜（3）设有若干溢流孔（4），所述调流腔（5）的内表面（51）为向下凹设的光滑曲面；所述入口蓄液池（2）与调流腔（5）由薄膜（3）隔开，并通过溢流孔（4）与调流腔（5）相连通，且调流腔（5）的底部与流体出口（6）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述薄膜（3）为高弹性可变形膜，在流体压力作用下可逐渐贴合调流腔的内表面（51）以达到限流目的。

3.根据权利要求2所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述溢流孔（4）的位置分布于薄膜（3）的外侧，在薄膜（3）贴合调流腔（5）的内表面（51）时，溢流孔（4）的位置不与流体出口（6）的位置有交叉。

4.根据权利要求2所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述薄膜（3）的材质为聚二甲基硅氧烷、硅胶、聚氨酯橡胶聚合物、形状记忆合金等弹性材料中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述调流腔（5）的内表面（51）为球面、椭球面、弧面中的一种。

6.根据权利要求1所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述流体出口（6）的直径小于调流腔（5）的直径。

7.根据权利要求1所述的一种低阈值恒流量微阀，其特征在于：所述低阈值恒量微阀实施恒流量调控所需的阈值压力不高于6kPa，且基于微阀结构优化可输出的流量范围为1nL/min ~ 10 mL/min。