[实用新型]单晶炉用加热器

权利要求书

1.一种单晶炉用加热器，其特征是所述加热器包括至少2个发热圈、至少2个支撑脚和连接两者的连接螺栓；发热圈为筒体，与支撑脚装配处加工有发热圈连接平面和连接螺孔；支撑脚包括发热圈连接端、电极连接端，整体呈L型，发热圈连接端上加工有用于装配发热圈的支撑脚连接平面，支撑脚连接平面上设有用于让连接螺栓穿过的连接通孔，发热圈通过连接螺栓安装在发热圈连接端上；电极连接端加工有用于装配电极的通孔；通过改变发热圈的数量及高度、相邻发热圈之间的间距，以调节加热器轴向温度的分布梯度。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用加热器，其特征是所述支撑脚连接平面下方设有用于支撑发热圈的凸台。

3.根据权利要求1或2所述的单晶炉用加热器，其特征是所述加热器由石墨材料或碳碳复合材料或碳陶复合材料制备而成。

4.根据权利要求3所述的单晶炉用加热器，其特征是所述碳陶复合材料的开气孔率为1﹪～9﹪，密度为1.5g/㎝³～2.3g/㎝³，抗弯强度为250MPa～480MPa，电阻率为10μΩ•m～300μΩ•m。

5.根据权利要求1或2或4所述的单晶炉用加热器，其特征是加热器表面有SiC涂层，涂层厚度为5μm～2000μm。

6.一种单晶炉用加热器，其特征是所述加热器为带连接部的筒体，筒体上沿轴线平行布置至少2个发热圈，相邻发热圈之间通过连接块连接，连接块为L型，连接块一端即连接部处加工有用于装配电极的通孔，连接块与发热圈整体成型；通过改变发热圈的数量及高度、相邻发热圈之间的间距，以调节加热器轴向温度的分布梯度。

7.根据权利要求6所述的单晶炉用加热器，其特征是所述加热器由石墨材料或碳碳复合材料或碳陶复合材料制备而成。

8.根据权利要求7所述的单晶炉用加热器，其特征是所述碳陶复合材料的开气孔率为1﹪～9﹪，密度为1.5g/㎝³～2.3g/㎝³，抗弯强度为250MPa～480MPa，电阻率为10μΩ•m～300μΩ•m。

9.根据权利要求6或7或8所述的单晶炉用加热器，其特征是加热器表面有SiC涂层，涂层厚度为5μm～2000μm。