[实用新型]一种芯片贴膜压平除气装置有效
申请号: | 201922268672.1 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN210778508U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 田光明;王波;王小波 | 申请(专利权)人: | 无锡科瑞泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 压平 装置 | ||
本实用新型公开了一种芯片贴膜压平除气装置,所述工作台的上端连接有底板,所述工作台的上端两侧分别设有侧板,两组所述侧板之间连接有顶板,所述顶板的内部一侧安装有第一液压缸,所述顶板的内部一侧设有滑槽,所述滑槽中滑接有滑板,所述第一液压缸的输出端贯穿至滑槽中连接至滑板的一侧,所述滑板的下端连接有第二液压缸;本实用新型碾压辊以及压板在底板上对芯片和膜进行碾压贴合,同时风扇产生的负压风力将芯片和膜之间的空隙中的风被抽离,减少贴合时的气体,导柱在L型橡胶块中上下浮动,滑块上下压动,第二弹簧的下端连接至的上端,使碾压辊产生的压合力更好,更加服帖膜的上端,使得贴合后无气体,适合广泛推广。
技术领域
本实用新型涉及芯片贴膜技术领域,具体为一种芯片贴膜压平除气装置。
背景技术
随着国内LED行业的不断发展,LED中的重要组件COB基板的加工要求也越来越高,其生产效率、生产质量成为判别LED质量的重要指标之一。COB基板也需要进行贴膜,贴膜过程是:将切割成小片荧光粉膜,放在工作台上,加温到一定温度后,放置到固化或焊接好的芯片上面。目前,现有的贴膜机在进行贴膜时,容易有气泡存在,为此,我们推出一种芯片贴膜压平除气装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种芯片贴膜压平除气装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片贴膜压平除气装置,包括工作台,所述工作台的上端连接有底板,所述工作台的上端两侧分别设有侧板,两组所述侧板之间连接有顶板,所述顶板的内部一侧安装有第一液压缸,所述顶板的内部一侧设有滑槽,所述滑槽中滑接有滑板,所述第一液压缸的输出端贯穿至滑槽中连接至滑板的一侧,所述滑板的下端连接有第二液压缸,所述第二液压缸的输出端连接有安装座,所述安装座的两端分别连接有连接架,右侧所述连接架的下端连接有第一压辊,左侧所述连接架的下端连接有第二压辊,所述安装座的内部左侧设有用于安装支撑板的空腔,所述支撑板的上端中部连接有导柱,所述支撑板的上端两侧还分别连接有第一弹簧,所述第一弹簧的上端连接至空腔的上壁,空腔的上壁中部连接有L型橡胶块,所述导柱的上端连接至L型橡胶块的内部,所述支撑板的两端分别连接有滑块,且空腔的两侧壁中分别设有滑轨,滑轨中安装有第二弹簧,所述滑块滑接于滑轨中,所述第二弹簧的下端连接至滑块的上端,所述支撑板的下端通过支杆活动连接有碾压辊,所述安装座的下端还设有用于安装第三弹簧的安装槽,所述第三弹簧的下端连接有压杆,所述压杆的下端连接有压板,右侧所述侧板的上端还安装有风扇,所述风扇的入风端朝向底板的上端。
作为本技术方案的进一步优化,所述工作台的下端四角分别连接有支撑腿,所述侧板的下端连接至支撑腿上。
作为本技术方案的进一步优化,所述滑槽为T型滑槽,所述滑板为T型滑板,所述顶板中设有用于安装第一液压缸的安装槽。
作为本技术方案的进一步优化,所述第一压辊位于底板的右端,所述第二压辊位于底板的左端。
作为本技术方案的进一步优化,所述压板的下端连接有软板,所述软板为橡胶软板。
作为本技术方案的进一步优化,所述风扇的入风端连接有进风管,所述进风管的一端贯穿于侧板中朝向底板上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过第一液压缸输出推动滑板在滑槽中滑动,使得下端的第二液压缸带动第二液压缸以及下端的安装座移动,同时第二液压缸输出,使得下方的碾压辊以及压板在底板上对芯片和膜进行碾压贴合,同时风扇产生的负压风力将芯片和膜之间的空隙中的风被抽离,减少贴合时的气体,在贴膜过程中,第二压辊首先将一端压合,随着第一液压缸的输出,使得碾压辊对膜进行压合,而通过设有第一弹簧带动支撑板上下浮动,导柱在L型橡胶块中上下浮动,滑块上下压动,第二弹簧的下端连接至的上端,使碾压辊产生的压合力更好,同时压板下端还连接有软板,更加服帖膜的上端,使得贴合后无气体,适合广泛推广。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造