[实用新型]一种激光器的光斑调节系统有效
申请号: | 201922269285.X | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211063029U | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 陈凯;王希亮 | 申请(专利权)人: | 昂纳信息技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01S3/00 | 分类号: | H01S3/00;H01S5/00 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光器 光斑 调节 系统 | ||
1.一种激光器的光斑调节系统,其特征在于,包括:
激光器,用于发射激光;
FAC透镜,所述FAC透镜接收激光器发射的激光,并将其准直聚焦后输出;
光束质量分析仪,所述光束质量分析仪接收FAC透镜输出的光束,将光信号转换为电信号并输出对应的光斑信息;
显示设备,与所述光束质量分析仪连接将其光斑信息显示输出以观察调节光斑的位置和尺寸。
2.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述光斑调节系统还包括六维调节架,所述FAC透镜设于六维调节架上并通过六维调节架调节位置和角度。
3.根据权利要求2所述的光斑调节系统,其特征在于,所述六维调节架包括六个调节轴向,每一所述调节轴向包括用于调节FAC透镜的位置和角度的粗调调节杆和微调调节杆。
4.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述光束质量分析仪与激光器的激光输出端的距离为20~30cm。
5.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述光斑调节系统还包括设于FAC透镜与光束质量分析仪之间的衰减片,所述FAC透镜输出的光束经衰减片减弱能量后入射至光束质量分析仪。
6.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述FAC透镜包括一接收激光器发射激光的入射平面,所述入射平面与激光器的激光输出端平行。
7.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述FAC透镜与激光器的激光输出端的距离为90~110um。
8.根据权利要求2所述的光斑调节系统,其特征在于,所述光斑调节系统还包括用于夹紧固定FAC透镜的夹具,所述六维调节架带动夹具移动调节FAC透镜的位置和角度。
9.根据权利要求1所述的光斑调节系统,其特征在于,所述FAC透镜输出的光束垂直入射至光束质量分析仪。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的光斑调节系统,其特征在于,所述激光器为9xxnm的半导体激光器。
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