[实用新型]一种立式炉管清洗设备喷洒系统

说明书

本申请涉及一种立式炉管清洗设备喷洒系统，由顶部喷洒组件、竖直喷头组件和清洗液储存槽、清水储存槽三部分组成，顶部喷洒组件用于清洗炉管，竖直喷头组件用于清洗炉管附属部件，不同的喷管喷射的清洗液能够完成对炉管的清洗，具有清洗效果好，由于顶部喷洒组件能够旋转，从而炉管可以不用旋转，有效地降低了炉管损坏的风险。

技术领域

本申请属于炉管清洗设备技术领域，尤其是涉及一种立式炉管清洗设备喷洒系统。

背景技术

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献CN 208853393 U公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，让称重的炉管旋转，一方面，旋转机构需要设计得复杂，另一方面，对炉管的进行旋转，炉管容易受到损伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在保证清洗效果的同时能够降低炉管损坏风险的立式炉管清洗设备喷洒系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种立式炉管清洗设备喷洒系统，

顶部喷洒组件，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的顶部，由电机驱动而发生旋转，所述顶部喷洒组件包括水平管和设置在水平管上的若干竖直管；

竖直喷头组件，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的侧壁上，包括一条以上的竖直布置的竖直喷管，竖直喷管一旁设置有固定件以固定被清洗的炉管附属部件；

清洗液储存槽和清水储存槽，清洗液储存槽内可以储存酸性清洗液或者碱性清洗液，清水储存槽内储存清水；清洗液储存槽和清水储存槽通过管道与顶部喷洒组件、竖直喷头组件连接，并给顶部喷洒组件、竖直喷头组件供给清洗液或者清水。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的长度从顶部喷洒组件中心向外侧逐渐增长。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管从中心向外依次为第一竖直管、第二竖直管和第三竖直管，且长度依次增加。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的末端设置有万向喷头。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述水平管和竖直管为两组，两组所述水平管通过同一个电机驱动而转动。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，两组所述水平管通过皮带轮和皮带连接以实现由同一个电机驱动而转动。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，竖直喷头组件包括两条平行设置的竖直喷管，被清洗的炉管附属部件放置在两条竖直布置的竖直喷管之间。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，两条竖直喷管上的喷头在竖直方向上错位布置，且两条竖直布置的竖直喷管上的喷头的朝向相反。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述喷头的朝向与水平面呈30°-60°夹角。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述顶部喷洒组件和竖直喷头组件还与氮气管道连接。

本实用新型的有益效果是：

本申请的立式炉管清洗设备喷洒系统，由顶部喷洒组件、竖直喷头组件和清洗液储存槽、清水储存槽三部分组成，顶部喷洒组件用于清洗炉管，竖直喷头组件用于清洗炉管附属部件，不同的喷管喷射的清洗液能够完成对炉管的清洗，具有清洗效果好，由于顶部喷洒组件能够旋转，从而炉管可以不用旋转，有效地降低了炉管损坏的风险。