[实用新型]清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于：包括装置本体，所述装置本体内开设有用于放置工件的等离子清洗腔，所述等离子清洗腔内设有能够对所述工件进行等离子清洗的清洗组件，所述装置本体的顶部开设有与所述等离子清洗腔连通的清洗开口，所述装置本体的顶部设有能够封堵所述清洗开口的顶盖，所述顶盖可翻转地设置在所述装置本体上。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述装置本体包括多个所述清洗组件，多个所述清洗组件等间距间隔设置。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于：各所述清洗组件均包括设于所述等离子清洗腔内的相对两侧的等离子发生器，所述工件于两侧的所述等离子发生器之间进行等离子清洗。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述清洗装置还包括散热组件，所述散热组件包括设于所述装置本体外侧的散热通道，和与所述散热通道连通并能够输出散热液的散热机构。

5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于：所述散热组件包括多个并排设置的所述散热通道，所述散热机构与多个所述散热通道分别连接。

6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述清洗开口的外侧设有翻转轴，所述顶盖设于所述翻转轴上，所述顶盖能够绕所述翻转轴翻转至封堵所述清洗开口。

7.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于：所述装置本体的所述翻转轴所在侧的相邻侧设有翻盖机构，所述翻盖机构与所述顶盖连接且能够带动所述顶盖旋转。

8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于：所述翻盖机构为气缸，所述气缸与所述装置本体转动连接，所述气缸的输出轴与所述顶盖连接。

9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于：所述顶盖上的朝向所述装置本体一侧还设有位于所述清洗开口外侧的密封圈。

10.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于：所述清洗装置还包括用于对所述等离子清洗腔抽真空的真空泵，所述真空泵与所述装置本体相连。