[实用新型]一种低频射频辉光放电电离装置

权利要求书

1.一种低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：包括具有电离腔(110)的电离源外壳(100)、进样单元(200)和辅助进气单元(300)；

所述进样单元(200)包括金属型的进样管(210)、套装所述进样管(210)的加热筒(220)，所述加热筒(220)内设有加热棒(230)，所述进样管(210)插入电离腔(110)内，所述电离源外壳(100)正对进样管(210)的一端设有用于和质谱仪相连的分析物出口(120)；

所述电离腔(110)内设有电离源和能够激发电场的电极板组，带电分析物离子在电场引导下由进样管端朝分析物出口方向运动；

所述辅助进气单元(300)包括进气管(310)和用于加热所述进气管(310)内气体的加热装置(320)，所述进气管(310)从进样管(210)的一端插入所述电离腔(110)内。

2.根据权利要求1所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述电离源包括多组设在所述电离腔(110)内的圆柱杆(400)，所述圆柱杆(400)沿进样管到分析物出口方向设置，多组所述圆柱杆(400)围成一个圆柱形电离区域，每组所述圆柱杆(400)由导电块(410)和绝缘片(420)交替串联而成，相邻所述导电块(410)之间均通过贴片电容(500)和贴片电阻(600)连通，所述圆柱杆(400)两端的导电块(410)与射频电源相连并施以不同的直流电压，且进样管端的导电块(410)的电压高于分析物出口端的导电块(410)电压。

3.根据权利要求2所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述电极板组包括相对设置的正电极板(710)和负电极板(720)构成，所述正电极板(710)位于进样管的一端，所述负电极板(720)位于分析物出口的一端，所述正电极板(710)和负电极板(720)均施加直流电压，且正电极板(710)上的直流电压高于负电极板(720)的电压。

4.根据权利要求3所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述导电块(410)和绝缘片(420)由绝缘固定杆(430)串接而成，所述绝缘固定杆(430)的两端分别与正电极板(710)和负电极板(720)绝缘相连。

5.根据权利要求3或4所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述分析物出口(120)开设在所述负电极板(720)的中部，且分析物出口(120)为圆锥孔。

6.根据权利要求1至4任一项所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述电离源外壳(100)上设有真空抽气口(130)，所述真空抽气口(130)上连接有真空规(131)。

7.根据权利要求1至4任一项所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述加热棒(230)为陶瓷加热棒，所述陶瓷加热棒被包裹于所述加热筒(220)内。

8.根据权利要求1至4任一项所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述加热筒(220)外设有密封套(240)，并通过密封套(240)固定连接在电离源外壳(100)上。

9.根据权利要求1至4任一项所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述电离源外壳(100)为不锈钢体，并施加地电位。

10.根据权利要求2至4任一项所述的低频射频辉光放电电离装置，其特征在于：所述圆柱杆(400)的数量为四组。