[实用新型]管道清洁装置有效
| 申请号： | 201922276407.8 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN211464163U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张传洋 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管道 清洁 装置 | ||
1.一种管道清洁装置，其特征在于，包括：目标管道，以及与所述目标管道相连接的至少一条进气管道；
所述目标管道的一端与反应腔室相连接；
所述进气管道用于向所述目标管道输送清洁气体以清洁所述目标管道；
所述目标管道内设置有挡流装置，所述挡流装置的挡流面面对所述进气管道的出气口。
2.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述挡流装置可伸缩地设置在所述目标管道的管壁上，适于通过所述目标管道的管壁伸入所述目标管道或从所述目标管道抽出。
3.根据权利要求2所述的管道清洁装置，其特征在于，还包括第一控制器，用于控制所述挡流装置通过所述目标管道的管壁伸入所述目标管道或从所述目标管道抽出。
4.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述挡流装置上设有旋转轴，所述旋转轴与所述挡流面平行；所述挡流装置适于围绕所述旋转轴转动。
5.根据权利要求4所述的管道清洁装置，其特征在于，还包括第二控制器，用于控制所述挡流装置围绕所述旋转轴转动。
6.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述目标管道包括主管道、第一子管道和第二子管道；
所述第一子管道的一端与第一反应腔室相连接，所述第二子管道的一端与第二反应腔室相连接；所述第一子管道和所述第二子管道的另一端交汇至所述主管道的一端；
所述进气管道有多条，所述第一子管道与所述第二子管道分别与至少一条所述进气管道相连。
7.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述进气管道的进气口与清洁气体制备装置相连接，所述清洁气体制备装置用于向所述进气管道输送清洁气体。
8.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述进气管道上设置有质量流量控制器。
9.根据权利要求7所述的管道清洁装置，其特征在于，所述清洁气体制备装置用于制备等离子态的清洁气体。
10.根据权利要求1所述的管道清洁装置，其特征在于，所述目标管道上设置有阀门，所述目标管道的另一端与排气装置相连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922276407.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蜡烛摆放架
- 下一篇：一种纸盒印刷机用的纸板定位装置
