[实用新型]一种抽空检漏装置

说明书

本实用新型提供一种抽空检漏装置。所述抽空检漏装置包括：真空泵；连接管道，所述连接管道设置于所述真空泵的输出端；坩埚磁流体检漏装置，所述坩埚磁流体检漏装置设置于所述连接管道的输出端；所述坩埚磁流体检漏装置包括第一主管，所述第一主管的底部固定连接有第一法兰；坩埚磁流体，所述坩埚磁流体设置于所述坩埚磁流体检漏装置上；真空测偶，所述真空测偶设置于所述坩埚磁流体检漏装置的顶部。本实用新型提供的抽空检漏装置具有通过开启真空泵，开始抽空，最后保压，通过工控机来观测数值的变化，来判定维修好的坩埚磁流体是否合格，坩埚磁流体和晶转磁流体与检测设备的连接结构和检测简单，经济实用，操作灵活。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产用检漏设备技术领域，尤其涉及一种抽空检漏装置。

背景技术

生产单晶硅行业当中，设备漏气和漏水是会导致很严重的后果，要么拉制不成功导致提段、单晶变色甚至无法拉制的问题，在这种情况中我们先要保证单晶炉上坩埚磁流体和晶转磁流体的质量，保证我们维修的磁流体不能有漏气现象。

在直拉单晶行业中，坩埚磁流体和晶转磁流体扮演者很重要的角色，维修好的两种磁流体怎么检测是成为了一个问题，坩埚磁流体可以装在单晶炉上可以检测，但是工作量大，工作繁琐而且必须有闲置的单晶炉才能去做检测，而且一旦检测出有问题的话又得拆卸这个一装一柴会浪费将近5个小时的时间，所以即耽误工作又浪费时间，晶转磁流体都无法检测。

因此，有必要提供一种抽空检漏装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种抽空检漏装置，解决了坩埚磁流体和晶转磁流体不方便检漏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的抽空检漏装置包括：真空泵；连接管道，所述连接管道设置于所述真空泵的输出端；坩埚磁流体检漏装置，所述坩埚磁流体检漏装置设置于所述连接管道的输出端；所述坩埚磁流体检漏装置包括第一主管，所述第一主管的底部固定连接有第一法兰；坩埚磁流体，所述坩埚磁流体设置于所述坩埚磁流体检漏装置上；真空测偶，所述真空测偶设置于所述坩埚磁流体检漏装置的顶部；工控机，所述工控机设置于所述真空测偶的顶部。

优选的，所述第一主管的左侧固定连接有第一快装法兰，所述第一主管的顶部设置有第二快装法兰。

优选的，所述第一法兰的底部与所述坩埚磁流体之间固定安装，所述第一快装法兰与所述连接管道的输出端相互连通，所述第二快装法兰的输出端与所述真空测偶之间相互连通。

优选的，还包括晶转磁流体检漏装置，所述晶转磁流体检漏装置设置于所述连接管道的输出端，并且晶转磁流体检漏装置上设置有晶转磁流体，所述晶转磁流体检漏装置包括第二主管。

优选的，所述第二主管的侧面固定连接有第二法兰，所述第二法兰的输出端与所述真空测偶的输入端相互连通，所述第二主管的左侧固定连接有第三快装法兰。

优选的，所述第三快装法兰的输入端与所述连接管道的输出端相互连通，所述第二主管的顶部固定连接有第四快装法兰，所述第四快装法兰的输出端与所述晶转磁流体之间相互连通。

优选的，还包括安装架，所述安装架的顶部与所述真空泵的底部固定连接，并且安装架的顶部固定连接有分流箱，所述分流箱的输出端固定分别固定连接有第一分接管和第二分接管，所述第一分接管上设置有第一控制阀，所述第二分接管上设置有第二控制阀。

与相关技术相比较，本实用新型提供的抽空检漏装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种抽空检漏装置，通过开启真空泵，开始抽空，最后保压，通过工控机来观测数值的变化，来判定维修好的坩埚磁流体是否合格，坩埚磁流体和晶转磁流体与检测设备的连接结构和检测简单，经济实用，操作灵活。

附图说明