[实用新型]一种防溢胶粘连装置

说明书

本实用新型提出一种防溢胶粘连装置，包括：真空吸盘；真空泵，与所述真空吸盘连接；垫板，位于所述真空吸盘的上表面通过所述真空泵吸附在所述真空吸盘上，所述垫板上开着有容纳槽，基板与所述容纳槽适配，基板固定于所述容纳槽内。本实用新型可以有效避免在压印过程中溢胶现象导致的基板粘在托板上难以分离以及真空泵与环形槽之间的通道堵塞的问题，且成本低廉，操作简便，适应性广。

技术领域

本实用新型属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种防溢胶粘连装置。

背景技术

随着半导体、光学组件的发展，市场对低成本、高产量的微纳加工技术需求量持续加大。纳米压印技术是通过机械转移的手段以达到超高的分辨率，其有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。

CN206440934U公开了一种新型纳米压印设备，该设备中包括托板，托板上设有环形槽与真空泵相接通，使用时基板和环形槽形成密闭空间，通过真空泵将密闭空间中的空气吸出，从而固定基板。但在实际操作中，一旦发生溢胶现象，真空泵打开后会将溢出的胶体吸入环形槽，胶体在环形槽中流动固化，一方面会造成基板粘在托板上难以分离，另一方面会造成真空泵与环形槽之间的通道堵塞，无法吸出空气形成负压固定基板。

发明内容

本实用新型针对上述的技术问题，提出一种防溢胶粘连装置，此装置可以有效避免在压印过程中溢胶现象导致的基板粘在托板上难以分离以及真空泵与环形槽之间的通道堵塞的问题，且成本低廉，操作简便，适应性广。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种防溢胶粘连装置，包括：

真空吸盘；

真空泵，与所述真空吸盘连接；

垫板，位于所述真空吸盘的上表面通过所述真空泵吸附在所述真空吸盘上，所述垫板上开着有容纳槽，基板与所述容纳槽适配，基板固定于所述容纳槽内。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述垫板的材质为PET。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述真空吸盘上表面开设有真空槽，在所述真空槽内开设有真空孔，所述真空孔通过气管与所述真空泵连接。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述容纳槽位于垫板的中心位置。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述容纳槽为通槽，基板的底面与所述真空吸盘的顶面抵接。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述垫板具有第一垫层以及与所述第一垫层连接的第二垫层，所述第二垫层位于所述第一垫层下方，所述第二垫层的底面与所述真空吸盘的上表面抵接，所述容纳槽位于所述第一垫层上，所述容纳槽内位于所述第二垫层上设置有用于固定基板的粘性层。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述粘性层为胶层。

作为优选的，上述防溢胶粘连装置，所述第一垫层的厚度小于所述第二垫层的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

1、容纳槽为设置在垫板上的通槽，基板放置在容纳槽内，基板的底面与真空吸盘的顶面抵接，通过真空泵将垫板以及基板固定在真空吸盘1的上表面，在压印过程中，溢出的胶液流至垫板上表面而不会流至真空吸盘上表面的真空槽内，避免了真空孔的堵塞，可使真空泵持续的产生吸力，保证压印的连续性。

2、在压印过程中，溢出的胶液流至第一垫层上表面而不会流至真空吸盘上表面的真空槽内，避免了真空孔的堵塞，可使真空泵持续的产生吸力，保证压印的连续性。

附图说明