[实用新型]一种连续式卧式真空烧结炉

说明书

本实用新型公开了一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架，所述卧式安装架上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉，所述卧式安装架上设置有料框，所述第二抽真空炉、加热炉和封接炉外配置有机械扩散泵机组，所述第一抽真空炉、冷却炉外配置有机械泵，结构简单，构造清晰易懂，工件由炉外到炉内，抽真空，加热，封接，冷却，出炉，可实现全自动操作，从而实现连续烧结，操作简单，自动化程度高，生产效率高，人工成本低，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及真空烧结炉技术领域，具体为一种连续式卧式真空烧结炉。

背景技术

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。传统的烧结炉由人工进行工件的取拿，每次进行一组工件的烧结，效率极低，人工成本高，且具有安全隐患，因此，需要一种连续式卧式真空烧结炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种连续式卧式真空烧结炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种连续式卧式真空烧结炉，包括卧式安装架，所述卧式安装架上端面从左到右依次安装设置有第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉，所述卧式安装架上设置有料框，所述第二抽真空炉、加热炉和封接炉外配置有机械扩散泵机组，所述第一抽真空炉、冷却炉外配置有机械泵。

优选的，所述第一抽真空炉左侧设置有进料门，所述冷却炉右侧设置有出料门，所述进料门和出料门外安装有气缸。

优选的，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉相互之间设置有隔板，所述隔板上设置安装有插板阀。

优选的，所述卧式安装架底部连接设置有若干支撑立柱，所述卧式安装架下方设置有出料斜板，所述出料斜板为左端倾斜向下设置，所述出料斜板左端置于卧式安装架左侧下方设置，所述出料斜板右端置于卧式安装架右侧下方设置。

优选的，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉内左右两侧设置安装有链轮组，所述第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉外分别安装有电机，所述电机输出端通过减速机与链轮组驱动连接，所述链轮组外套装设置有连输链板。

优选的，所述机械扩散泵机组包括连接管，所述连接管一端分别与第一抽真空炉、第二抽真空炉、加热炉、封接炉和冷却炉连接，所述连接管另一端连接有扩散泵，所述扩散泵与机械泵之间连接有阀门组。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，构造清晰易懂，工件由炉外到炉内，抽真空，加热，封接，冷却，出炉，可实现全自动操作，从而实现连续烧结，操作简单，自动化程度高，生产效率高，人工成本低，值得推广。

附图说明

图1为一种连续式卧式真空烧结炉的整体结构示意图；

图2为一种连续式卧式真空烧结炉的机械扩散泵机组结构示意图。

图中：1-出料斜板，2-连输链板，3-卧式安装架，4-料框，5-进料门，6-第一抽真空炉，7-第二抽真空炉，8-加热炉，9-插板阀，10-隔板，11-封接炉，12-冷却炉，13-气缸，14-出料门，15-链轮组，16-电机，17-连接管，18-扩散泵，19-阀门组，20-机械扩散泵机组，21-机械泵，22-支撑立柱。

具体实施方式