[实用新型]一种芯片显影机用取片装置有效
申请号: | 201922287957.X | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211180531U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 许国庆 | 申请(专利权)人: | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/26 | 分类号: | G03F7/26 |
代理公司: | 济南宝宸专利代理事务所(普通合伙) 37297 | 代理人: | 荆向勇 |
地址: | 274000 山东省菏泽市高*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 显影 机用取片 装置 | ||
1.一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:包括壳体(11)、气缸(2)、推板(4)、电动推杆(5)、外壳(8)、横板(9)、底盖(12)、连接气囊(13)、通气板(14)和吸盘(16),所述壳体(11)内腔中央安装气缸(2),所述气缸(2)和壳体(11)之间设有海绵垫(3),所述壳体(11)顶部固接在横板(9)底部中央,所述横板(9)顶部中央固接外壳(8),所述外壳(8)内腔顶端开设电源盒(6),所述外壳(8)内腔安装电动推杆(5),所述电动推杆(5)底端贯穿横板(9)、壳体(11)和气缸(2)固接在推板(4)顶部中央,所述推板(4)安装在气缸(2)内腔,所述壳体(11)底部固接在连接板(17)顶部中央,所述连接板(17)底部固接在底盖(12)顶部中央,所述气缸(2)底部中央固接连通管(1),所述连通管(1)底端依次贯穿连接板(17)和底盖(12)固接在连接气囊(13)顶部中央,所述连接气囊(13)底部固接在橡胶垫(15)顶部中央,所述通气板(14)底部均匀分布若干吸盘(16),所述吸盘(16)底部固接橡胶垫(15)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述外壳(8)顶部中央固接开关(7),所述开关(7)电性连接电动推杆(5)和电源盒(6),所述电源盒(6)内部安装蓄电池。
3.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述壳体(11)为圆柱体,所述壳体(11)表面分布若干防滑条(10)。
4.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述底盖(12)底部开设缺口。
5.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述连接气囊(13)底部通过管道连接吸盘(16)。
6.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述气缸(2)和推板(4)均为圆柱体,所述推板(4)直径与气缸(2)内径相同。
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