[实用新型]一种芯片显影机用取片装置有效

专利信息
申请号: 201922287957.X 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN211180531U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 许国庆 申请(专利权)人: 菏泽力芯电子科技有限公司
主分类号: G03F7/26 分类号: G03F7/26
代理公司: 济南宝宸专利代理事务所(普通合伙) 37297 代理人: 荆向勇
地址: 274000 山东省菏泽市高*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 显影 机用取片 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:包括壳体(11)、气缸(2)、推板(4)、电动推杆(5)、外壳(8)、横板(9)、底盖(12)、连接气囊(13)、通气板(14)和吸盘(16),所述壳体(11)内腔中央安装气缸(2),所述气缸(2)和壳体(11)之间设有海绵垫(3),所述壳体(11)顶部固接在横板(9)底部中央,所述横板(9)顶部中央固接外壳(8),所述外壳(8)内腔顶端开设电源盒(6),所述外壳(8)内腔安装电动推杆(5),所述电动推杆(5)底端贯穿横板(9)、壳体(11)和气缸(2)固接在推板(4)顶部中央,所述推板(4)安装在气缸(2)内腔,所述壳体(11)底部固接在连接板(17)顶部中央,所述连接板(17)底部固接在底盖(12)顶部中央,所述气缸(2)底部中央固接连通管(1),所述连通管(1)底端依次贯穿连接板(17)和底盖(12)固接在连接气囊(13)顶部中央,所述连接气囊(13)底部固接在橡胶垫(15)顶部中央,所述通气板(14)底部均匀分布若干吸盘(16),所述吸盘(16)底部固接橡胶垫(15)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述外壳(8)顶部中央固接开关(7),所述开关(7)电性连接电动推杆(5)和电源盒(6),所述电源盒(6)内部安装蓄电池。

3.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述壳体(11)为圆柱体,所述壳体(11)表面分布若干防滑条(10)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述底盖(12)底部开设缺口。

5.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述连接气囊(13)底部通过管道连接吸盘(16)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片显影机用取片装置,其特征在于:所述气缸(2)和推板(4)均为圆柱体,所述推板(4)直径与气缸(2)内径相同。

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