[实用新型]一种单晶金刚石生长过程中的监测装置

权利要求书

1.一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，包括化学气相沉积设备(1)、厚度监测设备(2)和移动平台(3)；

所述化学气相沉积设备(1)设有沉积室(11)、沉积平台(12)和可视窗(13)；所述可视窗(13)用于监测放置于所述沉积平台(12)上的金刚石，所述沉积平台(12)设于所述沉积室(11)内；

所述厚度监测设备(2)包括厚度监测部件(21)和物镜(22)，所述物镜(22)用于通过所述可视窗(13)监测放置于所述沉积平台(12)上的金刚石；所述厚度监测部件(21)与所述物镜(22)及所述移动平台(3)连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据，所述物镜(22)设于所述移动平台(3)上且朝向所述化学气相沉积设备(1)。

2.如权利要求1所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述化学气相沉积设备(1)为微波等离子体化学气相沉积设备。

3.如权利要求1所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述移动平台(3)为XY移动平台。

4.如权利要求1至3任一项所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述厚度监测部件(21)包括厚度监测单元(211)及控制器(212)，所述厚度监测单元(211)与所述物镜(22)连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处厚度计算来源数据，所述控制器(212)与所述移动平台(3)及所述厚度监测单元(211)通讯连接。

5.如权利要求4所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述厚度监测单元(211)为迈克尔逊干涉仪。

6.如权利要求4所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述控制器(212)包括：

移动控制单元(2121)，所述移动控制单元(2121)与所述移动平台(3)连接，用于控制所述移动平台(3)的移动及提供单晶金刚石表面各检测处的位置数据；

厚度计算单元(2122)，用于从所述厚度监测单元(211)获得单晶金刚石表面各检测处单晶金刚石厚度计算来源数据并计算获得单晶金刚石表面各检测处单晶金刚石厚度数据；

信息单元(2123)，用于匹配并提供从所述厚度计算单元(2122)获得单晶金刚石表面各检测处单晶金刚石厚度数据，及从所述移动平台(3)获得的单晶金刚石表面各检测处的位置数据。

7.如权利要求6所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述控制器(212)还包括终止信号判断与发送模块(2124)，用于依据所述信息单元(2123)提供的单晶金刚石表面各检测处的厚度和位置数据确定是否终止单晶金刚石生长并发送终止信号。

8.如权利要求6所述的一种单晶金刚石生长过程中的监测装置，其特征在于，所述信息单元(2123)还用于将单晶金刚石表面各检测处的位置数据与单晶金刚石表面各检测处单晶金刚石厚度数据进行三维模拟，获得单晶金刚石的三维形貌。