[实用新型]一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置

说明书

一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，涉及半导体加工技术领域，该防掉落装置包括防护筛板，防护筛板设置于水槽内，与水槽的槽壁连接。防护筛板位于基座下方，防护筛板在托盘所在平面的正投影将托盘完全覆盖，防护筛板设置有多个贯穿的筛孔。在进行打磨的过程中，如果有工件脱落，防护筛板这可以将其接住，防止工件掉入水槽中，对管道造成堵塞。对于防护筛板中的工件，工作人员用夹子即可将其取出，取出过程中不需要停止打磨作业。整个防掉落装置的结构简单，但使用方便，具有较高的实用性。

技术领域

本实用新型涉及加工设备领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置。

背景技术

平面磨床是磨床的一种，主要用砂轮旋转研磨工件以使其可达到要求的平整度。在碳化硅加工过程中，由于涉及的碳化硅工件较小，为了提高生产效率，通常会将多个工件摆放在一起集中打磨。在这时候，通常采用石蜡将多个小工件固定在同一个托盘上，随着托盘的往复运动，多个小工件轮流经过砂轮下方，即可实现利用一个砂轮对多个工件进行打磨。但是在打磨过程中，由于石蜡融化，极有可能造成工件的脱落，脱落的工件掉入水槽中并沉在水中，难以拾取，如果工件太小的话，还有可能被冲入回水管中，造成循环水的管路堵塞。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，其结构简单，使用方便，能够在打磨过程中接住掉落的工件，便于取出，防止堵塞。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，该防掉落装置与平面磨床的工件固定装置配合使用；工件固定装置包括托盘、基座、以及水槽；基座位于水槽内，基座宽度方向上的两侧与水槽的槽壁连接；防掉落装置包括防护筛板，防护筛板设置于水槽内，与水槽的槽壁连接；防护筛板位于基座下方，防护筛板在托盘所在平面的正投影将托盘完全覆盖，防护筛板设置有多个贯穿的筛孔。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，防护筛板包括底板，以及分别连接于底板两端的两个端板，两个端板均为倾斜设置；端板沿着靠近底板的方向，与水槽的槽底的距离逐渐缩小。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，水槽在其长度方向上一侧的槽壁上设置有通孔，防掉落装置还包括导向槽，导向槽穿过通孔与底板连接。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，底板倾斜设置，底板沿着靠近导向槽的方向，与水槽的槽底的距离逐渐缩小。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，支撑台设置有接料槽，接料槽位于导向槽的正下方。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管，排水管贯穿水槽的槽壁与水槽内部连通。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，水槽的底部设置有滑槽，滑槽与导轨滑动配合。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，托盘的上表面凹设有容置槽。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，容置槽的槽壁为斜面，使得容置槽的槽底在槽口所处平面上的正投影，位于槽口的范围内。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，托盘长度方向上的两端均设置有便于手持的把手。

本实用新型实施例的有益效果是：

本实用新型实施例提供了一种用于碳化硅打磨加工的防掉落装置，该防掉落装置包括防护筛板，防护筛板设置于水槽内，与水槽的槽壁连接。防护筛板位于基座下方，防护筛板在托盘所在平面的正投影将托盘完全覆盖，防护筛板设置有多个贯穿的筛孔。在进行打磨的过程中，如果有工件脱落，防护筛板这可以将其接住，防止工件掉入水槽中，对管道造成堵塞。对于防护筛板中的工件，工作人员用夹子即可将其取出，取出过程中不需要停止打磨作业。整个防掉落装置的结构简单，但使用方便，具有较高的实用性。