[实用新型]真空防泄漏装置、真空吸附设备

权利要求书

1.一种真空防泄漏装置，其特征在于，包括：

主体壳；所述主体壳包括第一入口、第二入口、第一出口、第二出口；所述第一入口和所述第二入口用于与抽真空管路连接；所述第一出口和所述第二出口用于与同一真空吸附件的真空抽气口连接；

设置于所述主体壳内的第一隔离件、第二隔离件和第三隔离件；

所述第一隔离件、所述第二隔离件与部分所述主体壳限定出第一腔室；所述第二隔离件与部分所述主体壳、以及所述第三隔离件限定出第二腔室；所述第一隔离件与部分所述主体、以及所述第三隔离件限定出第三腔室；

所述第一腔室通过所述第一入口与抽真空管路连通；所述第二腔室通过所述第二入口与抽真空管路连通；所述第三腔室通过所述第一出口与空吸附件的真空抽气口连通；

所述第一隔离件能够在所述主体壳内转动，所述第二隔离件与第一隔离件固定连接，并能够在所述第一隔离件的带动下转动，以使所述第一腔室还能够通过所述第二出口与真空吸附件的真空抽气口连通，或者所述第三腔室还能够通过第二出口与真空吸附件的真空抽气口连通。

2.根据权利要求1所述的真空防泄漏装置，其特征在于，所述真空防泄漏装置还包括：

旋转结构，其与所述第一隔离件固定连接；

所述第一隔离件能够自第一位置处转动至第二位置处；所述旋转结构能够将所述第一隔离件由所述第二位置处复位至所述第一位置处。

3.根据权利要求2所述的真空防泄漏装置，其特征在于，所述旋转结构包括：弹簧，其的第一端与所述主体壳固定连接；其的第二端与所述第一隔离件固定连接。

4.根据权利要求3所述的真空防泄漏装置，其特征在于，

所述第一隔离件包括：第一隔离片和套筒；所述第一隔离片固定连接于所述套筒外部；所述弹簧设置于所述套筒内部，所述弹簧的第二端与所述套筒固定连接；

所述第二隔离件包括：第二隔离片，其设置于所述套筒外侧，并与所述套筒固定连接；

所述第三隔离件包括：第三隔离片，其设置于所述套筒外侧，并与所述套筒滑动连接。

5.根据权利要求1所述的真空防泄漏装置，其特征在于，所述真空防泄漏装置还包括：

设置于所述主体壳内壁的第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件用于将所述第一隔离件限制在第一位置处与第二位置处之间。

6.根据权利要求1所述的真空防泄漏装置，其特征在于，

所述第一隔离件与所述第二隔离件为一体成型结构。

7.根据权利要求1所述的真空防泄漏装置，其特征在于，还包括：报警模块，用于当所述第一隔离件旋转程度超过预设范围时发出报警。

8.一种真空吸附设备，其特征在于，包括；

权利要求1至7中任意一项所述的真空防泄漏装置。

9.根据权利要求8所述的真空吸附设备，其特征在于，还包括：

真空吸附件，所述真空吸附件具有真空抽气口，所述真空抽气口与所述真空防泄漏装置的第一出口及第二出口连通。