[实用新型]电容式位移传感器的定尺和定子

说明书

本实用新型公开了一种电容式位移传感器的定尺和定子；定尺包括定尺基体和设置在定尺基体表面的激励电极，激励电极的A相激励信号引线与C相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的一侧，激励电极的B相激励信号引线与D相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的另一侧；定子包括定子基体和设置在定子基体表面的激励电极，激励电极的A相激励信号引线与C相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的内侧，激励电极的B相激励信号引线与D相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的外侧。本实用新型能减小干扰信号对测量精度的影响，保证测量精度。

技术领域

本实用新型属于位移传感器领域，具体涉及一种电容式位移传感器的定尺和定子。

背景技术

电容式位移传感器包括电容式直线位移传感器和电容式角位移传感器。CN103822571A公开一种基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器(属于电容式直线位移传感器)，其定尺包括定尺基体和定尺电极(相当于激励电极)，定尺基体上依次覆有4层介质膜，第一层为金属膜，喷涂成4条激励信号引线，分别将A、B、C、D各个激励相的对应电极连成一组，第二层为绝缘膜，第三层为金属膜，喷涂成一排定尺电极，第四层为绝缘保护膜，所述定尺电极形状为矩形且大小相同，相邻两电极之间保持一定的绝缘间距，所述的4条激励信号引线并排位于定尺电极下方中部；这种位移传感器的定尺电极的A、B、C、D激励相的连接采用中间引线的方式进行连接，引线串扰较大，导致信号干扰较大。CN103968750A公开了一种电场式时栅角位移传感器(也可称为电容式时栅角位移传感器)，其定子包括定子基体和定子电极(相当于激励电极)，定子电极数量为4m，它们在定子基体表面均匀地覆有一圈，定子电极的第4n+1号电极连成一组，组成A激励相，定子电极的第4n+2号电极连成一组，组成B激励相，定子电极的第4n+3号电极连成一组，组成C激励相，定子电极的第4n+4号电极连成一组，组成D激励相，其中n＝0，1，2，...，m-1；这种位移传感器的定子电极的A、B、C、D激励相的连接也是采用中间引线的方式进行连接，引线串扰较大，导致信号干扰较大。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种电容式位移传感器的定尺和定子，以减小干扰信号对测量精度的影响。

本实用新型所述的电容式位移传感器的定尺，包括定尺基体和设置在定尺基体表面的激励电极，所述激励电极由一排大小相同、极距为W的矩形极片沿测量方向等间距排列组成；其中，第4n₁+1号矩形极片通过A相激励信号引线连成一组，组成A激励相，第4n₁+2号矩形极片通过B相激励信号引线连成一组，组成B激励相，第4n₁+3号矩形极片通过C相激励信号引线连成一组，组成C激励相，第4n₁+4号矩形极片通过D相激励信号引线连成一组，组成D激励相，n₁依次取0至M₁-1的所有整数，M₁表示激励电极的对极数；所述A相激励信号引线与C相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的一侧，所述B相激励信号引线与D相激励信号引线组成双绞线且位于激励电极的另一侧。