[实用新型]一种用于靶材绑定的夹紧装置

说明书

本实用新型涉及靶材组件制造技术领域，公开了一种用于靶材绑定的夹紧装置，其包括第一夹紧件、第二夹紧件和至少两根固定杆，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件相对设置，各所述固定杆沿所述第一夹紧件和所述第二夹紧件的中心轴线均匀分布，所述固定杆的两端分别与所述第一夹紧件和所述第二夹紧件可拆卸地连接。本实用新型提供的用于靶材绑定的夹紧装置结构简单，能固定好靶材和衬管的相对位置。

技术领域

本实用新型涉及靶材组件制造技术领域，特别是涉及一种用于靶材绑定的夹紧装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。旋转靶材是靶材的一种，是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。

在绑定靶材时，工作人员将一节节的圆筒状的靶材套设在衬管上，靶材和衬管之间形成填充腔，再将绑定材料，诸如金属铟注入填充腔中。在绑定时，需要使用夹紧装置将位于衬管两端的靶材夹紧，防止靶材在绑定过程中脱落，影响绑定良率。目前，缺少一种能够固定好靶材和衬管的相对位置的绑定夹紧装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种用于靶材绑定的夹紧装置，其结构简单，能固定好靶材和衬管的相对位置。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种用于靶材绑定的夹紧装置，其包括第一夹紧件、第二夹紧件和至少两根固定杆，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件相对设置，各所述固定杆沿所述第一夹紧件和所述第二夹紧件的中心轴线均匀分布，所述固定杆的两端分别与所述第一夹紧件和所述第二夹紧件可拆卸地连接。

作为优选方案，所述固定杆为螺杆，所述固定杆的两端分别通过螺母螺接在所述第一夹紧件和所述第二夹紧件上。

作为优选方案，所述第一夹紧件上设有供所述固定杆穿过的安装通孔，所述第二夹紧件的外侧沿周向设有与各所述固定杆一一对应的安装位。

作为优选方案，所述第二夹紧件包括底座，所述安装位为设于所述底座上的通孔。

作为优选方案，所述第二夹紧件还包括夹紧块，所述夹紧块固定连接在所述底座靠近所述第一夹紧件的一侧，所述夹紧块的外侧开设有与各所述通孔一一对应的切口，所述切口沿所述第二夹紧件的高度方向设置。

作为优选方案，所述固定杆的数量为四个，各所述固定杆沿所述第一夹紧件和所述第二夹紧件的中心轴线周向等间隔均匀分布。

作为优选方案，所述第二夹紧件与所述第一夹紧件相对的一面为抵接面，所述抵接面为平面。

作为优选方案，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件的横截面形状均为圆环状。

作为优选方案，所述第二夹紧件上设有连通管，所述连通管的第一端部伸出于所述第二夹紧件的外侧，所述连通管的第二端部穿出所述第二夹紧件的内壁。

作为优选方案，所述连通管的第一端部设有弯折部，所述弯折部向所述第一夹紧件的方向弯折，所述弯折部远离所述连通管的一端设有连接位。

本实用新型一种用于靶材绑定的夹紧装置与现有技术相比，其有益效果在于：本实用新型实施例的固定杆的两端分别与第一夹紧件和第二夹紧件可拆卸地连接。绑定时，将第一夹紧件和第二夹紧件抵接在靶材的两端，将固定杆连接在第一夹紧件和第二夹紧件上，实现靶材和衬管的位置固定。使用者能够根据靶材需要绑定的长度调整第一夹紧件和第二夹紧件之间的距离，该用于靶材绑定的夹紧装置结构简单、使用灵活方便，有利于提高绑定良率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的用于靶材绑定的夹紧装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的用于靶材绑定的夹紧装置的在绑定状态下的使用示意图；