[实用新型]一种切削溅射靶材的工作台清理装置有效

专利信息
申请号: 201922305325.1 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN211515270U 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 邢伟亮 申请(专利权)人: 中诺新材(北京)科技有限公司
主分类号: B08B1/00 分类号: B08B1/00
代理公司: 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 代理人: 何晖
地址: 100089 北京市海*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 切削 溅射 工作台 清理 装置
【权利要求书】:

1.一种切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,包括:

把手,所述把手包括内部中空的管道和软木条,所述软木条插入所述管道内;

连接杆,所述连接杆的一端插入所述软木条内;

清扫头,所述清扫头包括第一夹板、第二夹板和橡胶条,所述第一夹板与所述连接杆焊接,所述橡胶条设置在所述第一夹板与所述第二夹板之间,所述第一夹板与所述第二夹板通过螺栓连接。

2.根据权利要求1所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述把手还包括橡胶管和两个套环,所述橡胶管套设在所述管道外,两个所述套环分别扣设在所述管道的两端。

3.根据权利要求2所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述把手还包括挂环,所述挂环包括圆环和插杆,所述圆环与所述插杆焊接,所述插杆穿过所述套环后插入所述软木条内。

4.根据权利要求1所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述连接杆包括直杆和弯杆,所述直杆的一端插入所述软木条内,所述直杆的另一端与所述弯杆的一端焊接,所述弯杆的另一端与所述第一夹板焊接。

5.根据权利要求4所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述清扫头与连接杆之间还设有加强杆,所述加强杆的一端与所述弯杆焊接,所述加强杆的另一端与所述第一夹板焊接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中诺新材(北京)科技有限公司,未经中诺新材(北京)科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922305325.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top