[实用新型]一种切削溅射靶材的工作台清理装置有效
申请号: | 201922305325.1 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211515270U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 邢伟亮 | 申请(专利权)人: | 中诺新材(北京)科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 何晖 |
地址: | 100089 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切削 溅射 工作台 清理 装置 | ||
1.一种切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,包括:
把手,所述把手包括内部中空的管道和软木条,所述软木条插入所述管道内;
连接杆,所述连接杆的一端插入所述软木条内;
清扫头,所述清扫头包括第一夹板、第二夹板和橡胶条,所述第一夹板与所述连接杆焊接,所述橡胶条设置在所述第一夹板与所述第二夹板之间,所述第一夹板与所述第二夹板通过螺栓连接。
2.根据权利要求1所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述把手还包括橡胶管和两个套环,所述橡胶管套设在所述管道外,两个所述套环分别扣设在所述管道的两端。
3.根据权利要求2所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述把手还包括挂环,所述挂环包括圆环和插杆,所述圆环与所述插杆焊接,所述插杆穿过所述套环后插入所述软木条内。
4.根据权利要求1所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述连接杆包括直杆和弯杆,所述直杆的一端插入所述软木条内,所述直杆的另一端与所述弯杆的一端焊接,所述弯杆的另一端与所述第一夹板焊接。
5.根据权利要求4所述的切削溅射靶材的工作台清理装置,其特征在于,所述清扫头与连接杆之间还设有加强杆,所述加强杆的一端与所述弯杆焊接,所述加强杆的另一端与所述第一夹板焊接。
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