[实用新型]一种身管真空镀膜用工艺装置

权利要求书

1.一种身管真空镀膜用工艺装置，其特征是：包括镀膜装置（1）、身管（2）、身管支座（3）和抽真空装置（4）；所述镀膜装置（1）由镀膜机（9）、身管大端密封机构（6）和支承机构（7）依次连接，并通过专用小车（8）支承，抽真空装置（4）前端设有身管小端牵引及密封机构（5），镀膜装置（1）通过身管大端密封机构（6）与身管（2）大端连接，抽真空装置（4）通过身管小端牵引及密封机构（5）与身管（2）小端连接，身管（2）通过两个身管支座（3）支承。

2.根据权利要求1所述的一种身管真空镀膜用工艺装置，其特征是：镀膜机（9）前端设有法兰盘，镀膜机（9）法兰盘设有靶材，靶材前端设有外螺纹，镀膜机（9）法兰盘通过螺栓螺母与身管大端密封机构（6）连接，镀膜机（9）靶材前端与支承机构（7）连接，专用小车（8）底部设有滚轮，专用小车（8）上端设有三个支承杆，支承杆为通过丝杠调节结构，三个支承杆依次支承镀膜机（9）、身管大端密封机构（6）和镀膜机（9）靶材前端。

3.根据权利要求1所述的一种身管真空镀膜用工艺装置，其特征是：身管大端密封机构（6）由大法兰盘（603）、小法兰盘（601）和连接筒（602）组成，连接筒（602）与大法兰盘（603）、小法兰盘（601）内径固定连接，连接筒（602）一端端面与小法兰盘（601）端面平齐，连接筒（602）另一端端面伸出大法兰盘（603）端面，连接筒（602）侧壁设有两个接头（605），接头（605）设有内螺纹，连接筒（602）侧壁还开设有窥视孔（604），小法兰盘（601）与镀膜机（9）法兰盘连接。

4.根据权利要求1所述的一种身管真空镀膜用工艺装置，其特征是：支承机构（7）由支座（701）、垫圈（702）、螺母（703）、双头螺栓（704）、屏蔽罩（705）、绝缘座（706）、定位板（707）、绝缘板（708）、螺钉（709）、支块（710）、滚轮（711）、滚轮轴（712）组成；支座（701）底端开设有螺纹孔，支座（701）上表面设有立块，立块侧壁开设有通孔，通孔内设有双头螺栓（704），双头螺栓（704）两端连接有螺母（703），螺母（703）与立块之间设有垫圈（702），双头螺栓（704）一端的伸出端连接有定位板（707），定位板（707）中间设有螺纹暗孔，以螺纹孔为中心开设有四个圆柱型沉头孔，定位板（707）外设有屏蔽罩（705），屏蔽罩（705）为一端开口的筒型，屏蔽罩（705）筒型底面开设有通孔，以通孔为中心开设有四个沉头孔，定位板（707）圆柱型沉头孔设有绝缘座（706），绝缘座（706）的形状与定位板（707）圆柱型沉头孔匹配，绝缘座（706）中心开设有通孔，定位板（707）螺纹暗孔的方面设有绝缘板（708），绝缘板（708）开设有四个通孔，绝缘板（708）另一端设有支块（710），支块（710）一端为平面，支块（710）另一端设有凸台，支块（710）中心开设有方孔，支块（710）平面开设有四个螺纹暗孔，四个螺钉（709）依次穿过屏蔽罩（705）、绝缘座（706）、定位板（707）、绝缘板（708）与支块（710）螺纹暗孔连接，支块（710）方孔内设有滚轮轴（712），滚轮轴（712）轴向与方孔朝向垂直，滚轮轴（712）外设有滚轮（711），滚轮（711）外壁伸出支块（710）凸台表面。