[实用新型]蒸发源喷嘴

权利要求书

1.一种蒸发源喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴本体(1)，所述喷嘴本体(1)包括用于使蒸发材料流通的通道(10)；

内套(2)，所述内套(2)和所述通道(10)的内壁之间设置有转动组件，至少部分所述内套(2)通过所述转动组件可转动地设置于所述通道(10)内。

2.根据权利要求1所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述通道(10)沿出料方向依次包括第一通道(101)、第二通道(102)和第三通道(103)，所述内套(2)沿出料方向依次包括第一内套(21)、第二内套(22)和第三内套(23)，所述第一内套(21)设置于所述第一通道(101)内，所述第二内套(22)设置于所述第二通道(102)内，所述第三内套(23)设置于所述第三通道(103)内；

所述第一通道(101)、所述第二通道(102)和所述第三通道(103)中的至少一者设置有所述转动组件。

3.根据权利要求2所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述转动组件包括设置于所述第三通道(103)内的第一转动组件，所述第三通道(103)沿出料方向的直径逐渐减小，所述第一转动组件包括设置于所述第三通道(103)的出料口的第一轴承(31)和设置于所述第三通道(103)的进料口的第二轴承(32)；

所述第一轴承(31)和所述第二轴承(32)分别与所述第三内套(23)连接，并能带动所述第三内套(23)转动。

4.根据权利要求3所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述转动组件还包括设置于所述第二通道(102)内的第二转动组件，所述第二通道(102)沿出料方向的直径不变，所述第二转动组件包括设置于所述第二通道(102)的出料口的第三轴承(33)和设置于所述第三通道(103)的进料口的第四轴承(34)；

所述第三轴承(33)和所述第四轴承(34)分别与所述第二内套(22)连接，并能带动所述第二内套(22)转动。

5.根据权利要求4所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述第二通道(102)的内壁设置有球体(5)，所述第二内套(22)能与所述球体(5)接触。

6.根据权利要求2所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述第二内套(22)和所述第三内套(23)之间设置有第一密封圈(41)，所述第一内套(21)和所述第二内套(22)之间设置有第二密封圈(42)，所述第一内套(21)和所述第一通道(101)的内壁之间设置有第三密封圈(43)。

7.根据权利要求2所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述第一内套(21)、所述第二内套(22)和所述第三内套(23)的横截面为多边形。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的蒸发源喷嘴，其特征在于，所述内套(2)采用导热材料制成。