[实用新型]垂直腔表面发出激光器

权利要求书

1.一种垂直腔表面发出激光器，其特征在于，包括：

下反射镜；

上反射镜；

活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；

光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及

多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，

所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，

所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。

2.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

通过离子注入形成的绝缘区域从所述上反射镜形成为构成所述下反射镜的一部分厚度。

3.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述垂直腔表面发出激光器还包括欧姆接触层，所述欧姆接触层布置在所述上反射镜上，

所述欧姆接触层包括圆环状的圆形部分和向所述圆形部分的外侧凸出的凸出部。

4.根据权利要求3所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述圆环状是一部分切开的局部环状。

5.根据权利要求4所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述氧化孔布置在所述凸出部之间。

6.根据权利要求5所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述氧化孔分别具有比所述凸出部小的宽度。

7.根据权利要求4所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述垂直腔表面发出激光器还包括：覆盖所述欧姆接触层以及所述上反射镜的表面保护层；以及布置在所述表面保护层上的上绝缘层，

所述氧化孔贯穿所述表面保护层，

所述上绝缘层覆盖所述氧化孔。

8.根据权利要求7所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述垂直腔表面发出激光器还包括多个通孔，所述多个通孔贯穿所述上绝缘层以及所述表面保护层而使所述欧姆接触层暴露，

所述通孔与所述凸出部对应布置。

9.根据权利要求8所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述垂直腔表面发出激光器还包括布置在所述上绝缘层上的焊盘以及连接部，

所述焊盘布置在所述绝缘区域上方，

所述连接部从所述焊盘延伸并通过所述通孔与所述欧姆接触层电接通。

10.根据权利要求1所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

所述氧化孔具有圆形或者四边形形状。

11.一种垂直腔表面发出激光器，具有发射极阵列，其特征在于，

所述垂直腔表面发出激光器包括：

下反射镜；

上反射镜；

活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；

光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及

多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，

所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，

所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，

所述发射极阵列布置在所述孤立区域内，

所述多个氧化孔与各发射极对应布置且布置在所述孤立区域内。

12.根据权利要求11所述的垂直腔表面发出激光器，其特征在于，

通过离子注入形成的绝缘区域从所述上反射镜形成为构成所述下反射镜的一部分厚度。