[实用新型]一种玻璃间隙空气层厚度测量系统

说明书

本实用新型公开了一种玻璃间隙空气层厚度测量系统，包括夹具、样品载物台系统、窗口区域限制系统、入射角测量系统、激光器、激光器载物台系统和白屏；激光器位于激光器载物台系统内，激光器载物台系统位于样品载物台系统的右侧，白屏位于样品载物台系统的右侧，窗口区域限制系统与样品载物台系统相连，位于右侧下方，入射角测量系统与窗口区域限制系统相连，位于右侧，夹具位于样品载物台系统的左侧，夹具用于固定待测量玻璃样品。本实用新型采用干涉法对焊接后玻璃的空气间隙厚度进行测量，实验所得干涉条纹对比度高，条纹数易确定，测量过程调节简易。

技术领域

本实用新型涉及激光精密焊接技术领域，特别涉及一种玻璃间隙空气层厚度测量系统。

背景技术

随着玻璃在电子、光学、通信、微机电系统和生物医学等领域的广泛应用，玻璃的加工方式在更新迭代，超短脉冲激光焊接玻璃成为一大研究方向。其中，激光焊接两块玻璃后形成的空气间隙厚度是确定玻璃有效焊接的重要参数。一方面，空气间隙厚度对焊接后的玻璃性能，如介电性能，微波信号传输性能有较大的影响，另一方面，高光强的超快激光会在玻璃中产生等离子体，而其变化也影响了空气间隙的产生。目前，使用光学法测量透明薄膜厚度已经是较为成熟的技术，在适用对象和测量目的不同的基础上，本实用新型采用干涉法对焊接后玻璃的空气间隙厚度进行测量，实验所得干涉条纹对比度高，条纹数易确定，测量过程调节简易。

作为激光焊接工艺中的重要步骤，本实用新型依照等厚干涉的原理，设计了一种玻璃间隙中空气层厚度测量系统及方法，增加了激光玻璃焊接工艺中对成品的空气层厚度这一重要参数的测量方法。

实用新型内容

本实用新型提供了一种玻璃间隙空气层厚度测量系统，旨在解决皮秒激光玻璃焊接系统的成品的间隙空气层厚度的测量问题。

为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为：

本实用新型提供一种玻璃间隙空气层厚度测量系统，包括夹具、样品载物台系统、窗口区域限制系统、入射角测量系统、激光器、激光器载物台系统和白屏；激光器位于激光器载物台系统内，激光器载物台系统位于样品载物台系统的右侧，白屏位于样品载物台系统的右侧，窗口区域限制系统与样品载物台系统相连，位于右侧下方，入射角测量系统与窗口区域限制系统相连，位于右侧，夹具位于样品载物台系统的左侧，夹具用于固定待测量玻璃样品；

通过激光器发射激光束，发射的激光束作用于样品载物台系统后至白屏，使激光束在白屏上形成干涉条纹，并利用条纹级数计算玻璃间隙空气层厚度，反映激光焊接后的成品的有效焊接区域。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果至少包括：

本实用新型玻璃间隙空气层厚度测量系统通过等厚干涉原理对经过激光焊接系统后的成品的间隙空气层厚度进行测量，增加了激光玻璃焊接工艺中对成品的空气层厚度这一重要参数的测量方法；采用干涉法对焊接后玻璃的空气间隙厚度进行测量，实验所得干涉条纹对比度高，条纹数易确定，测量过程调节简易。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的玻璃间隙空气层厚度测量系统的结构示意图；

图2是本实用新型两玻璃平行时光路经折射和反射后在凸透镜焦平面上产生相干现象的原理图；

图3是本实用新型两玻璃存在一定楔角时经折射和反射后产生相干现象的原理图；

图4是本实用新型实施例的玻璃间隙空气层厚度测量方法的流程图。