[实用新型]一种基板卡夹及基板存储装置

说明书

本实用新型公开了一种基板卡夹及基板存储装置，涉及基板装载领域，一种基板卡夹，包括卡夹框架，所述卡夹框架内水平滑动连接有基板承载件，所述基板承载件包括用于盛放基板的支撑件和固定在支撑件一侧的推拉件，所述支撑件的上表面开设有用于将基板有效区域悬空的凹槽，本实用新型结构简单，与现有的基板卡夹相比，一方面可以保护基板不受外界光线和悬浮颗粒影响，另一方面通过对基板的水平储存和搬运降低光刻胶向基板一侧流动而造成光刻胶均匀性恶化的可能性，同时水平推压推拉件即可取放基板，使用快速方便，提升使用效率和成品率，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及基板装载领域，具体是一种基板卡夹及基板存储装置。

背景技术

随着薄膜混合集成电路的日益发展，产品的功能越来越强，其集成度越来越高，尺寸越来越小，而相关基板在储存，搬运和使用过程中都需要卡夹的装载，传统的基板卡夹由于竖直储存搬运，在光刻区内匀胶后的基板暴露在外会使得光刻胶被动曝光，空气中悬浮颗粒落入到基板表面造成光刻图形缺陷影响产品的成品率，增加基板返工率，同时传统基板卡夹由于取放操作空间过于狭小，造成取放基板的效率低，甚至会污染基板。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板卡夹及基板存储装置，通过基板卡夹装置一方面能够将基板相对密封，另一方面对基板通过水平储存和搬运，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种基板卡夹，包括卡夹框架，所述卡夹框架内水平滑动连接有基板承载件，所述基板承载件包括用于盛放基板的支撑件和固定在支撑件一侧的推拉件，所述支撑件的上表面开设有用于将基板有效区域悬空的凹槽。

作为本实用新型进一步的方案：所述卡夹框架包括上边框、下边框和侧边框，所述上边框和下边框通过侧边框固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述推拉件与卡夹框架之间固定连接有弹性件。

作为本实用新型进一步的方案：所述卡夹框架的水平尺寸不小于支撑件的尺寸，所述上边框下表面与支撑件顶面的上下垂直距离不大于1mm。

作为本实用新型进一步的方案：所述下边框上表面开设有若干个滚珠槽，所述滚珠槽内转动连接有滚珠，所述滚珠用于承接支撑件。

基板存储装置，包括若干个上述所述的一种基板卡夹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构新颖，与现有的基板卡夹相比，一方面可以保护基板不受外界光线和悬浮颗粒影响，另一方面通过对基板的水平储存和搬运降低光刻胶向基板一侧流动而造成光刻胶均匀性恶化的可能性，同时水平推压推拉件即可取放基板，使用快速方便，提升使用效率和成品率，降低生产成本。

附图说明

图1为一种基板卡夹的结构示意图；

图2为图1的A处结构示意图；

图3为基板存储装置的结构示意图；

图中：10-卡夹框架、11-下边框、12-推拉件、13-支撑件、14-凹槽、15-弹性件、16-滚珠、20-基板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。