[实用新型]管式扩散炉的反应管装载结构

权利要求书

1.一种管式扩散炉的反应管装载结构，包括：从反应管（1）一端装入的石英舟和承载石英舟的SiC桨，其特征在于，所述石英舟（7）包括：两块沿轴向间隔的端板（71）、多根连接两块端板（71）位于端板底部的下槽棒（74），多根连接两块端板位于端板上部的分隔棒（72）和间隔设置的上槽棒（76），使端板（71）之间通过分隔棒分隔形成多列沿反应管径向并排设置的硅片插槽。

2.如权利要求1所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，两块所述端板（71）之间位于端板底部还连接有多根加强棒（75）。

3.如权利要求1所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述端板底部的两侧设有向下凸出的限位脚（711），两侧的限位脚（711）之间形成与SiC桨配合的安装位。

4.如权利要求3所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述SiC桨包括：固定柄（81）、连接固定柄的过渡柄（82）、连接过渡柄（82）承载在石英舟底部配合安装位的双槽承载桨（83）。

5.如权利要求1所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述反应管（1）为封闭端的另一端设有：排气接口（11），多根长度不同垂直插入反应管（1）内分段送气的送气管（2），垂直插入反应管内的内热偶套管（3）和多根加热管套管（4），所述内热偶套管（3）和加热管套管（4）伸入反应管（1）内的一端封闭，另一端分别插装内热偶和加热管（41）。

6.如权利要求5所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述送气管（2）、内热偶套管（3）和加热管套管（4）与反应管（1）轴向平行且靠近反应管（1）的边缘设置，所述送气管（2）、加热管套管（4）位于反应管（1）的顶部，所述内热偶套管（3）位于反应管的底部。

7.如权利要求5所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述反应管（1）的内壁固定有多个用于穿过送气管（2）和加热管套管（4）的套环（5）。

8.如权利要求5所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述反应管（1）上设有向外延伸与送气管（2）配合的送气管插入接口（12）、与加热管套管配合的加热管插入接口（13）、与内热偶套管配合的内热偶插入接口（14）。

9.如权利要求8所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述送气管（2）与送气管（2）插入接口通过第一密封组件密封，所述加热管套管（4）与加热管插入接口（13）通过第二密封组件密封，所述内热偶套管（3）与内热偶插入接口（14）通过第三密封组件密封。

10.如权利要求1所述的管式扩散炉的反应管装载结构，其特征在于，所述反应管（1）外还套有电阻加热管（9），所述反应管与电阻加热管之间设有多个呈弧形的垫块（91）。