[实用新型]一种低能直流高压型电子加速器

权利要求书

1.一种低能直流高压型电子加速器，其特征在于，包括一钢筒组件、一灯丝电源、一电子枪、一高压组件、一加速管组件、一真空管件、一真空泵组件、聚拢线圈以及一扫描盒，所述钢筒组件为密封耐压容器，所述灯丝电源、所述电子枪、所述高压组件安装在所述钢筒组件内部，所述高压组件与所述钢筒组件结合安装，安装于钢筒组件底部，所述加速管组件穿出所述钢筒组件的底部法兰与所述真空管件连接，所述真空管件远离所述加速管组件的端部与所述扫描盒连接，所述扫描盒组件下半部结合安装有所述聚拢线圈；所述扫描盒侧部结合安装所述真空泵组件，所述电子枪与所述灯丝电源连接，所述电子枪设置在所述加速管组件的端部，所述高压组件与所述加速管组件结合设置。

2.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述高压组件包括一高压模块、一锥形高压均压帽以及一外部控制电源，所述高压模块及所述锥形高压均压帽安装在所述钢筒组件内部，所述高压模块与所述加速管组件结合设置，所述锥形高压均压帽安装于所述高压组件顶部与所述加速管组件朝向所述电子枪的一端连接，所述外部控制电源设置在所述钢筒组件外部，与所述高压模块及所述灯丝电源通过电缆连接。

3.如权利要求2所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述加速管组件具有若干分压级，所述高压模块具有若干分层倍压级，所述高压模块的分层倍压级与所述加速管组件的分压级一一对应的连接。

4.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述钢筒组件包括一筒体、一顶盖和一底法兰，所述顶盖、底法兰分别与所述筒体两端可拆卸的连接；所述钢筒组件为耐压容器，内部能充入一定压力的绝缘气体，所述筒体上结合安装检测装置。

5.如权利要求4所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述检测装置为压力表、压力传感器、安全阀中的一种或几种。

6.如权利要求4所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述筒体的侧壁中开设冷却水通道，且所述筒体侧壁的顶端和底端分别开有两个冷却水出入口，两个所述冷却水出入口与所述冷却水通道连通。

7.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述真空管件上套装一聚焦线圈。

8.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述扫描盒与所述真空管件连接的一端设置一束流扫描装置。

9.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述扫描盒远离所述真空管件的端面两侧设置所述聚拢线圈。

10.如权利要求1所述的低能直流高压型电子加速器，其特征在于，所述真空泵组件包括一机械泵、一分子泵、一离子泵、一插拔阀以及一真空检测单元，所述扫描盒侧部一面与所述离子泵连通，所述扫描盒侧部另一面依次连接所述插拔阀、所述真空检测单元、所述分子泵、所述机械泵。