[实用新型]一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置有效
申请号: | 201922316533.1 | 申请日: | 2019-12-21 |
公开(公告)号: | CN211367719U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 李其春 | 申请(专利权)人: | 江苏帆航新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 张塨 |
地址: | 223600 江苏省宿迁市沭*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 石墨 冷却 装置 | ||
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,且公开了一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,包括壳体,所述壳体的底部固定安装有散热平台,所述散热平台底部的左右两侧均固定安装有底座,所述底座的顶部固定安装有顶盖,所述顶盖的顶部固定安装有散热管,所述壳体的内壁上固定安有石墨舟,所述散热平台的内底壁上固定安装有限位箱,所述散热平台的底部插接有位于限位箱内部的散热箱,所述散热平台的内底壁上固定安装有位于限位箱左右两侧的密封管。该太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,整个拆卸过程较为简单,需要时间较短,到达了便于对其维护的目的,维护效率较高,便于工作人员对其进行维护保证散热效果,使用起来较为方便。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,具体为一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置。
背景技术
石墨舟是一种在等离子增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀的承载工具,由于在工艺结束后石墨舟的温度过高,需要对石墨舟进行冷却,随着石油和天然气等不可再生能源的日益短缺,太阳能、风能和潮汐能等可再生能源的开发、利用越来越受到国内外研究者的关注,其中,太阳能光伏发电以其无枯竭危险、无污染、不受资源分布地域的限制、可在用电处就近发电、能源质量高、使用者从感情上容易接受、获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景,我国太阳能光伏电池生产也进入了高速发展的时代。
目前市面上太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,大多不便于进行维护,由于装置在使用中,会产生较多的灰尘,需要经常对其进行维护,现有的对其进行维护时,过程较为繁琐,使用起来很不方便,故而提出一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置来解决上述的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,具备便于进行维护等优点,解决了目前市面上太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,大多不便于进行维护,由于装置在使用中,会产生较多的灰尘,需要经常对其进行维护,现有的对其进行维护时,过程较为繁琐,使用起来很不方便的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于进行维护的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,包括壳体,所述壳体的底部固定安装有散热平台,所述散热平台底部的左右两侧均固定安装有底座,所述底座的顶部固定安装有顶盖,所述顶盖的顶部固定安装有散热管,所述壳体的内壁上固定安有石墨舟,所述散热平台的内底壁上固定安装有限位箱,所述散热平台的底部插接有位于限位箱内部的散热箱,所述散热平台的内底壁上固定安装有位于限位箱左右两侧的密封管,所述密封管的内顶壁上固定安装有限位弹簧,所述限位弹簧的底部固定安装有与密封管活动连接的活动块,所述散热平台的底部螺纹连接有位于活动块底部的螺纹杆,所述活动块的正面活动安装有连接杆,所述密封管的内部活动安装有位于活动块相对侧的活动板,所述活动板的相对侧固定安装有贯穿限位箱并延伸至散热箱的限位杆,所述限位杆的底部固定安装有调节钮,所述散热箱的内部固定安装有风机。
优选的,所述散热箱的顶部与底部均开设有散热孔,且散热孔呈均匀分布。
优选的,所述限位弹簧的数量为两个,且限位弹簧呈左右均匀对称分布。
优选的,所述密封管的内壁上开设有活动槽,且活动板通过活动槽与密封管活动连接。
优选的,所述活动板的内部活动安装有固定轴,且连接杆通过固定轴与活动板活动连接。
优选的,所述调节钮的外侧开设有防滑纹,且防滑纹呈均匀分布。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种太阳能电池生产用石墨舟冷却装置,具备以下有益效果:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的