[实用新型]晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置

权利要求书

1.一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液。

2.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周。

3.根据权利要求2所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。

4.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽或所述清洗槽的底面之下设有超声波放置槽，所述超声波放置槽包围于所述超声波发生器以及多个所述电声换能器外。

5.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述电镀槽上分别设有进液口以及出液口，所述药液循环加热单元分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述药液循环加热单元包括药液加热泵以及药液过滤器。

6.根据权利要求5所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述药液循环加热单元设有进液管以及出液管，所述进液管连通于所述进液口，所述出液管连通于所述出液口，所述出液管连通于所述药液加热泵，所述药液加热泵通过连接管连通于所述药液过滤器，所述进液管与所述药液过滤器连通。

7.根据权利要求6所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述药液加热泵包括间隔设置的第一加热泵以及第二加热泵。

8.根据权利要求6所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽的顶部敞开且设有槽盖，所述槽盖围设于所述电镀槽的顶部四周，所述槽盖上设有可开启的窗口。

9.根据权利要求8所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽的外壁上凸设有出液槽，所述出液口开设于所述出液槽上进而与所述出液管连通，所述出液槽设于所述槽盖下且与所述电镀槽敞开的顶部连通。

10.根据权利要求9所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述槽盖与所述电镀槽的顶部上下贯通，所述槽盖的底面四周设有底外缘，所述电镀槽的顶部穿出所述底外缘，所述底外缘上设有多个导孔进而与所述出液槽导通。

11.根据权利要求8所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述槽盖的顶面敞开且设有可打开的盖板。

12.根据权利要求11所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，至少两个所述盖板通过铰链结构或连杆结构可对扇开启地安装于所述槽盖的顶面。

13.根据权利要求12所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述铰链结构连接安装有机械手，通过所述机械手转动所述铰链结构进而控制所述盖板的启闭。

14.根据权利要求9所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽外设有保护外壳，所述出液槽穿过所述保护外壳并固接于所述电镀槽的侧壁，所述槽盖封闭盖设于所述保护外壳的顶端。