[实用新型]新型耐用的阳极层离子源

权利要求书

1.新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，包括基座(8)，所述基座(8)上设有向下凹陷用于安装阳极(12)的安装腔(81)、所述基座(8)上端面上设有外阴极(1)和内阴极(3)，且所述外阴极(1)和内阴极(3)与阳极(12)之间留有间隙(82)，所述安装腔(81)内还设有均气座(11)，所述均气座(11)上设有若干等间隔设置且与间隙(82)连通的导气孔(11a)，所述基座(8)的下端面上设有用于导入工艺气体的通气孔(821)，从所述通气孔(821)导入的工艺气体需经过均气座(11)上的导气孔(11a)分散后导入至外阴极(1)和内阴极(3)与阳极(12)之间留有间隙(82)中。

2.根据权利要求1所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述内阴极(3)上设有阴极冷却水道(2)，所述阳极(12)上设有阳极冷却水道(5)。

3.根据权利要求1所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述均气座(11)上设有与其上端面连通的上环形空腔(111)、与其下端面连通的下环形空腔(112)以及位于上环形空腔(111)和下环形空腔(112)之间的分隔部(113)，所述导气孔(11a)设于分隔部(113)上使所述上环形空腔(111)和下环形空腔(112)连通，所述上环形空腔(111)与间隙(82)连通。

4.根据权利要求1所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述通气孔(821)也设有多个，且与所述导气孔(11a)一一相对。

5.根据权利要求2所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述基座(8)下端面上设有上凹的第二空腔(83)，所述通气孔(821)设于第二空腔(83)内，且新型耐用的阳极层离子源还包括设于第二空腔(83)内且与第二空腔(83)围成与外界密封的进气空腔(91)的布线盒(9)。

6.根据权利要求5所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述布线盒(9)的下端中部设有进气口(92)。

7.根据权利要求5所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述布线盒(9)上还设有与所述阴极冷却水道(2)连通的第一管道(93)和与所述阳极冷却水道(5)连通的第二管道(94)。

8.根据权利要求2所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述阳极冷却水道(5)外还设有聚四氟套(51)。

9.根据权利要求1所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，所述内阴极和外阴极的夹角为80°。

10.根据权利要求1所述的新型耐用的阳极层离子源，其特征在于，相邻两个所述的导气孔(11a)之间的间隙为8至10mm，且所述导气孔(11a)的孔径为1至2mm。