[实用新型]扫描电镜可调温原位力学测试样品台

说明书

本实用新型属于样品检测领域，具体涉及一种扫描电镜可调温原位力学测试样品台。包括支架、加热单元、动力单元以及样品放置单元；所述的压缩单元包括设置在所述的支架上的固定端以及与所述的固定端连接的压缩样品拖；所述的拉伸单元包括分别设置在所述的固定端以及所述的移动杆上的用以夹持拉伸样品两端的夹具；所述的移动端的端部与所述的压缩样品拖的位置对应用以对压缩样品拖的压缩样品进行挤压。本申请的扫描电镜可调温原位力学测试样品台通过转换隔热密封腔的热媒的种类即可对隔热密封腔内的温度进行调整、通过动力源进出，能够一次实现一个样品台中在不同温度下样品原位拉伸或压缩试验微观结构形貌的观察及成分分析。

技术领域

本实用新型属于样品检测领域，具体涉及一种扫描电镜可调温原位力学测试样品台。

背景技术

扫描电镜(SEM)作为介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大、成像富有立体感等特点，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，已广泛应用于材料、化学、生物、微电子等多领域。

随着现代技术的发展，其他一些扫描电子显微镜组合分析功能也相继出现，例如拉伸台系统，主要用于观察和分析材料在受力过程中所发生的微观结构变化。专利201820076763.8公开了一种扫描电镜原位拉伸辅助装置，通过分别安装棒材试样夹具与板材试样夹具，可分别实现对板材与棒材的原位拉伸实验。专利201820618311.8公开了一种扫描电镜原位拉伸压缩装置实现了多种形状样品在扫描电镜下拉伸与压缩微观形态的实时动态观察。专利201822216992.8公开了一种基于SEM电镜的微型多功用原位试验台，提供了五种形式的夹具，可以实现拉伸、压缩、三点弯、四点弯和剪切等力的加载。专利201510769697.3公开了一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域，可以在材料拉伸/压缩力学性能测量的同时，在同一微区域满足扫描电子束成像、EDS和EBSD一体化测试。专利201610872996.4公开了一种应用于扫描电镜中的加热装置，加热效率高、体积小、屏蔽效果好。专利201611148451.5公开了一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台。待扫描的空气或水分敏感样品在手套箱中被惰性气体的保护下密封在样品盘上，然后再转移到扫描电镜样品室进行扫描观测。专利201611186414.3公开了一种基于扫描电镜的原位加载装置，在扫描电镜下对金属或非金属材料的典型试件进行单轴应力的静动态加载性能测试，实现动态、低频疲劳或高频疲劳的加载。专利201710361801.4公开了一种在电镜下测量材料扭转性能的横式测试装置及测量方法，可以解决试样横向放置后转动部件质量偏心所带来的额外力矩问题，可以横向工作，从而使电子显微镜实现原位观察。专利201810857971.6公开了一种扫描电镜用原位拉伸实验装置，可以根据需要加持板材或棒材，同时也能根据实验需要加持不同厚度的板材或不同直径大小的棒材，满足不同实验需求，得到更多的实验数据，而且扫描电镜也可以进行各个方位移动，对板材或棒材不同位置进行扫描，使实验更为全面。专利201811610833.4公开了一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，可实现最高可达2000℃的高温断裂行为原位在线测试。专利201811614422.2公开了一种基于SEM电镜的微型热力耦合原位加载台，可实现高温与大载荷加载，最大加载温度可达1400℃，最大加载力可达1000N。

目前，还没有一种样品台能够实现样品超低温到高温的全程测试，同时在对应温度下进行样品原位拉伸压缩试验的观察。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜可调温原位力学测试样品台。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：